气相氟化氢与二氧化硅反应的研究

氢氟酸(HF的水济液)和SiO_2的反应是一个非常重要的反应,它很容易进行,其结果是生成SiF_4和H_2O.但我们和其他人先后发现在高于100℃时气相HF(包括无水HF和氢氟酸蒸气)和SiO_2无明显反应发     

自由基生物抗氧化与疾病

针对生物抗氧化剂这一近年来化学、生物学与医学交叉学科研究的热点 ,综述了生物体内自由基等活性氧( ROS)的产生及其引起生物细胞氧化性损伤所造成的危害 ,抗氧化剂的种类和作用 ,抗氧化剂在预防和治疗癌症、冠心病、衰老、白内障等慢性疾病中的作用 ,不同类型抗氧化剂间的协同作用 ,以及抗氧化剂研究领域的一些新动态     

Negative─workingPhotosensitivePolyimide

Ｎｅｇａｔｉｖｅ┐ｗｏｒｋｉｎｇＰｈｏｔｏｓｅｎｓｉｔｉｖｅＰｏｌｙｉｍｉｄｅ＊ＹｏｕＦｅｎｇｘｉａｎｇ（游凤祥），ＨｅＫａｉｚｈａｎｇ（何凯章），ＣｈｅｎＱｉｄａｏ（陈其道），ＨｏｎｇＸｉａｏｙｉｎ（洪啸吟）ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＣｈｅｍｉｓｔｒ...     

溶胶凝胶法制备二氧化硅膜及其无显影气相光刻

为使无显影气相光刻应用于非硅衬底材料的刻蚀,扩宽其应用范围,研究了无显影气相光刻在溶胶 凝胶法制备的二氧化硅膜中的应用。通过对溶胶 凝胶化学过程的分析,考察了凝胶二氧化硅薄膜制备过程中的几个重要工艺参数,制备了结构均匀的二氧化硅薄膜。并将无显影气相光刻的方法应用于这种二氧化硅膜的刻蚀,通过优化后的光刻工艺参数得到了反差明显的光刻图形。