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本文提出以纯钽舟为电阻加热器真空蒸发高纯度Al、Cr、Si、Ti、Al-Si、TiSi等薄膜的方法,测定了这些薄膜的性质.证明钽舟蒸发薄膜具有投资省、操作简单、控制方便、产品沾污少、纯度高等优点,适合于大规模集成电路的研制. 相似文献
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先进的CMOS逻辑电路74AC是在当前超大规模电路的先进工艺技术基础上发展起来的新一代高速CMOS逻辑电路系列,其目的是想代替第三代双极型TTL——先进的低功耗肖特基电路74ALS系列。因为它具有传统CMOS电路的低功耗和高抗干扰能力,又兼备ALSTTL的高速和强负载能力。这一系列电路在国际上尚无先例,是由中国科学院上海冶金研究所和上海无线电十九厂协作研制成功的。第一批四种电路(74AC00双输入器与非 相似文献
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