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1.
硅中氧含量的测定是评价硅单晶质量的重要参数之一.用外红吸收法测定硅单晶中的氧含量已有许多报道[1~5].我们曾建立了300K 9μm红外吸收法测氧标定曲线[6],低温可提高检测灵敏度[7~10],因此本工作主要是建立较精确的78K红外测氧标定曲线.  相似文献   
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