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教育与普及
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1993年
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1992年
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1.
扫描探针微电子学
林海安
王林
《大自然探索》
1993,12(3):7-13
相似文献
2.
硅各向异性腐蚀对偏压依赖和重掺杂停蚀机理的新模型
林海安
张家慰
《应用科学学报》
1992,10(2):167-173
系统研究了硅各向异性腐蚀对偏压的依赖及重掺杂的影响,建立了液一半接触能带模型和界面电荷传递模型,提出了反应注入概念且指出腐蚀速度通常依赖于界面态的填充情况,合理解释了实验得到的蚀速-偏压关系.考虑到非平衡载流子复合后,得到与实验吻合的蚀速比-载流子浓度公式.
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