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介绍了该高温绝压传感器的原理和特点,设计了传感器关键元件弹性膜片结构,制定了一套弹性膜片的制作工艺,使弹性膜片的加工工艺、热处理工艺有机地结合起来,弹性膜片金相组织和力学性能达到理想状态,解决了该传感器精度的关键技术,研制出一体化传感器在(-50～220)℃工作温度范围精度达到0.6%F·S. 相似文献
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介绍了星用高精度压力传感器的技术要求、工作原理、结构设计与电路设计及试验结果;对研制过程中的关键技术及解决方法进行了探讨．传感器是依据硅微压阻效应原理,采用相关半导体平面工艺技术、微机械加工技术以及电子线路中信号调理与补偿技术,将压力敏感元件与调理电路一体化封装在壳体内．传感器具有非线性好、工作温度范围宽、抗冲击过载、性能稳定可靠等特点． 相似文献
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