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介绍利用激光的光化学反应来分解气体制备α-Si:H/α-SiC:H多层非晶薄膜的方法,并对应用XPS等手段测得的这种非晶薄膜的光学特性进行了讨论. 相似文献
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介绍利用波长为193nm的ArF准分子激光的光化学反应,分解Si2H6和C2H2原料气体制备a-Si:H/a-Sic:H非晶超晶格多层膜以及讨论这种膜的量子尺寸效应,紫外吸收等光学特性. 相似文献
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太阳电池减反射膜设计与分析 总被引:11,自引:0,他引:11
根据光学薄膜原理,利用计算机程序对太阳电池减反射膜进行模拟仿真,得到反射率R(λ)与波长λ的关系曲线,并利用曲线对减反射膜进行优化.设计出几种常用材料制备单、双、三层减反射膜时的最佳膜系参数。为太阳电池减反射膜的制备提供理论依据.分析了电池封装和电池表面钝化对反射曲线的影响,并验证了实验结果. 相似文献
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