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1.
XH-REP-2正性电子束抗蚀剂的工艺研究
王国荃
罗腾蛟
王琴美
吴月莉
《应用科学学报》
1994,(1)
XH-REP-2正性电子束抗蚀剂的工艺研究王国荃,罗腾蛟,王琴美,
吴月莉
(中国科学院上海冶金研究所)关键词:电子束曝光,等离子体去渣.0引言普通光学的曝光分辨率受到光波衍射效应的限制,难以制作1μm以下的图形;当PG图形分割的矩形数超过20万,普通光...
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