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微桥量热计测量铝薄膜热容 总被引:1,自引:0,他引:1
用表面硅微加工工艺研制了一种用于薄膜热容测量的新型微桥量热计,热性能测试与分析表明,微桥量热计温度响应快,温度均匀性较好,采用脉冲量热法,通过测量量热计的热功耗、瞬态温度以及稳态热功耗,可计算量热计和样品薄膜的热容.在真空中300~420K测量了40~1150nm厚的Al薄膜热容,并测量了样品的贡量,获得了样品的比热容,1150nm厚的Al薄膜比热容与Al体材料比热容的文献值吻合较好.随着厚度的减小,Al薄膜的比热容增强,这种现象在高温时更为显著. 相似文献
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微型机械研究的现状及展望 总被引:2,自引:0,他引:2
微型机械是80年代后期崛起的新兴热点技术。本文从微型机械的历史背景入手阐述了目前微型机械的定义、主要组成部分、主要的工艺方法、国外的研究状况及应用前景,最后介绍微型机械在我国的发展状况。 相似文献
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为解决微流控芯片检测中由于盖片的双重折射效应导致的聚焦误差、色差和视场误差等问题,从折射基本定理出发,结合光学体视显微镜(SLM)的双光路结构,建立了SLM显微立体视觉双重折射变折射率校正算法,实现了对透明封闭容腔的非接触无损三维精确测量.在微沟道测量实验中,深度方向的测量误差由7.1 μm减小到1.5μm,相对误差由18.68%减小到3.95%.SLM显微立体视觉三维测量系统与表面轮廓仪、激光共焦扫描显微镜的横向对比测量实验,证明了SLM显微立体视觉双重折射变折射率校正的必要性和有效性. 相似文献
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本世纪初,物理学在探索微观世界方面取得了辉煌的成就,建立起了人类对电子、原子结构、晶体结构、分子结构、物质波、质能互变、量子原理等的深刻认识。本世纪中期,又在分子生物学、半导体、受激辐射等科学以及随后的扫描隧道显微术等方面取得了重大突破,使科研手段和应用技术的研究也向微观世界大步前进。 对微观尺度物质世界的认识与直接改造,是纵贯本世纪的自然科学和技术科学诸多重大发展中势头最猛的一个。各主要发达国家的科 相似文献
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微机电系统科学与技术发展趋势 总被引:25,自引:0,他引:25
阐明了微机电系统(MEMS)的学科内涵与应用范畴,着重介绍了国外MEMS的研究情况,研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别;论述了LIGA加工、刻蚀技术等微制造技术。总结了国内的研究工作,给出了我国在基础理论、材料、工艺、元器件、测试及微系统等方面的研制情况,并提出发展我国微电机电系统的几点建议。 相似文献
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集成毛细管电泳芯片研究进展 总被引:5,自引:0,他引:5
集成毛细管电泳芯片是一种新型的微全分析系统,它具有被分析的样品用量少、分析速度快、体积小便于携带、成本低等优点,介绍了该芯片的产生和发展过程,综述了芯片的结构、进样方式、检测方法等方面的进展和存在的问题;简述了其主要应用领域并展望了其应用前景。 相似文献
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微型夹钳技术是微机电系统研究的重要内容,应用于微装配等领域,在微机电系统的研究及微型产品的研制开发中发挥着重要的作用。本文选取微型夹钳技术最新研究中有代表性的成果进行了回顾,对微型夹钳的结构材料、制作工艺和工作原理等进行了分析,介绍了微型夹钳的最新研究进展,慨括了研究特点及发展趋势。 相似文献
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四杆机构轨迹特性与机构尺寸型关系研究 总被引:4,自引:0,他引:4
对于一个四连杆机构的连杆曲线, 存在3个机构可以实现该曲线, 即著名的同源机构定律. 在研究连杆机构的连杆曲线的频谱成分与机构的尺寸关系时, 发现了与实现同一曲线形状有关的机构, 根据尺寸型和装配构型可分为3类, 进而得到6个连杆机构, 这6个连杆机构属于两种同源机构, 其中有4个机构有曲柄存在, 它们实现的轨迹形状相同, 且互相对称. 还给出了这6个机构尺寸型之间的相互关系及有曲柄存在的4个机构的尺寸计算方法, 通过尺寸型和装配构型来揭示同源机构之间的关系进而扩展了同源机构定律, 为机构的尺度综合提供更多的尺寸型选择方案. 相似文献
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嵌入式无线传感器网络节点设计与通信研究 总被引:3,自引:0,他引:3
针对无线传感器网络技术的发展趋势,采用32位ARM核微控制器LPC2138设计并制作了一款无线传感器网络节点,节点的通信单元采用了射频芯片IA4420.在解决了SPI接口时序判别和连接方式等问题后,给出了IA4420的一种基于外部中断的数据收/发方法,实现了节点问的通信功能.比较了IA4420与符合IEEE802.15.4标准的射频芯片CC2420,IA4420易于设计并且不受现有通信标准的制约,通信协议可由用户自行定义,便于实际检验通信协议的优劣.进行了基于射频芯片IA4420接收信号强度指示实验,实验结果显示IA4420的RSSI功能可比较可靠地用于连接质量指示,但用于定位是不可靠的. 相似文献
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介绍了微流体流动特性测试技术的发展和应用概况,选用激发光源、荧光显微镜和高精度CCD摄像机等建立了显微粒子图像测速装置,用于测量微流控芯片内部电渗流流动特性,并给出显微成像单元、激发光源、示踪粒子的技术指标和适用范围.根据微流控芯片的特征尺寸和内部电渗流速度.分析了应用显微粒子图像测速技术测量微流场速度分布的测量分辨率、测量精度、测速范围等关键问题.研究结果表明:在电场强度100V/cm、宽度50μm的玻璃微通道内,硼砂电渗流速度约为220μm/s,放大倍率低于40倍,MicroPIV动态测速范围能满足流场测速要求;选用直径.300nm的荧光粒子,在高于10倍放大倍率下,粒子像大干3个CCD像元的尺寸,可以进行观测;MicroPIV测速系统的测速精度则与光学系统、图像处理技术、电场力、布朗运动等有关系. 相似文献