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一种MEMS CAD系统级到工艺级版图生成技术 总被引:1,自引:0,他引:1
采用自定义版图转换技术设计了MEMS系统级到工艺级之间的数据传递接口,通过对系统级设计得到网表文件的信息读取,提取了其中组件的版图信息、位置信息以及连接信息等将系统级设计结果,自动转化为二维标准版图文件,为实现“自顶向下”设计,进行器件版图编辑、掩膜板设计提供了一种有效的途径. 相似文献
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