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高精度步进压印机热误差的建模分析 总被引:1,自引:0,他引:1
为了消除由紫外光曝光所引起的步进压印机的热误差,以提高压印机的套刻对准精度,运用逐步回归分析法选取了压印机上温度测量点的数量,将压印机上布置的温度传感器从15个减少到6个,并建立了压印机温度测量关键点处的温度与压头在x、z方向热误差关系的数学模型.实验结果与模型计算结果的对比分析表明,模型的热误差预测精度在x方向可以达到899/6,而在z方向可以达到939/6.应用表明,该方法是一种在压印机热误差建模中选择温度测量关键点的有效方法,可避免热误差建模过程中的变量耦合问题,从而提高了模型的精确性. 相似文献
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针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性和固化速度,开发了适用于微压印工艺的高分辨率抗蚀剂材料,并进行了匀胶、压印和脱模工艺的优化实验.通过原子力显微镜对压印结果进行了分析,分析结果表明,图形从模具到抗蚀剂的转移误差小于8%,具有制作复杂微结构的能力,同时也为MEMS的制作提供了一种高效低成本的新方法. 相似文献
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介绍了一个外贸信息网络管理系统的总体拓扑结构和功能结构,着重介绍了系统在设计和实现中采用的关键技术.关键技术包括:信息处理自动化;软件开发工具及多窗口技术等. 相似文献
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通过对软模具变形的理论分析、数值模拟和实验验证的系统研究,以期揭示模具变形的机理、规律和关键影响因素,为探索减小模具变形策略和方法,提高纳米压印复型精度奠定理论基础,以实现高保真度纳米或亚纳米图型的转移. 相似文献
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为了使下颌骨替代物体具有特定的形状,并与相邻骨骼具有正确的相对位置和精确的连接方式,提出了利用布尔运算的定制化下颌骨重建方法.采用医用CT扫描的方法获得原始骨骼数据,从而保证了骨替代物的数据原始性以及与原骨骼形状的匹配性.以布尔运算为主要的重建设计手段,始终采用原始数据进行假体的设计,将STL的文件格式贯穿整个设计过程,从而避免了数据因格式转换而失真,确保了假体与原骨骼形状的匹配,使以人骨骼表面的自由曲面进行骨替代物的空间定位成为可能.该方法设计出来的人工下颌骨假体定位正确、连接精确,其形状与原骨骼匹配良好,因此可成功应用于临床实践. 相似文献
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为了改进个体匹配骨骼的设计与制造的速度和精度 ,缩短病人的等待时间和提高骨骼外形的匹配程度 ,采取不经过曲面重构而直接利用快速原型完成人工骨骼模型的造型方法 :直接将患者骨骼的断层图像数据转化为快速原型分层制造的轮廓数据格式并快速制造骨骼的实体原型 ,对其形状的修改和编辑在实物原型上进行 .结果表明 ,这种方法具有速度快、精度高的特点 ,能很好地满足个体匹配骨骼对设计制造的速度和精度的要求 .基于快速原型的个体匹配骨骼造型方法@刘亚雄$西安交通大学先进制造技术研究所!710049,西安
@李涤尘$西安交通大学先进制造技术… 相似文献
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在步进重复式压印光刻中,为了避免承片台支撑绞链结构间隙及微观姿态调整往返运动导致的表面材料不规则形变,建立了单调、无振荡、多步逼近目标位置的宏微两级驱动系统,并提出了径向基函数一比例、积分、微分(RBF-PID)及单调位置控制算法.控制结果证明,使用具有强鲁棒性的RBF-PID非线性控制模式,使得驱动过程呈现无超调、无振荡的单调过程,因此避免了由于系统微观振荡调节而引入的间隙误差和材料表面形变误差.此控制方式可使步进重复式压印系统的定位精唐左满足100mm行程驱动的前提下,达到小干10nm的定位枝术指标. 相似文献
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粘弹性约束阻尼夹层结构的模态综合法 总被引:3,自引:0,他引:3
用有限元法对约束阻尼夹层结构进行动力分析时,自由度数很高。尤其粘弹材料特性随频率而变化,导致计算费用昂贵,较难实现。本文提出用分层模态综合法对其进行动力分析,使自由度大规模降低。算例表明,结果与六阶微分方程及有限元解吻合良好。在此基础上,发展了模态分批迭代法解决粘弹材料复模量随频率变化引起的非线性特征值问题。 相似文献
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为快速求解整体立铣刀在自由状态下的动力学特性,将其分成刀杆和刀齿2部分,分别求解其频响特性并耦合得到整体响应.对刀齿横截面采用了等面积、等惯性矩和等平均惯性矩3种原则等效处理,对比后发现等平均惯性矩法误差最小.在此基础上提出以铣刀的刀齿占总长的比例、刀齿螺旋角和刀具长径比等3参数为影响因素,对等平均惯性矩法得到的等效直径进行修正.通过三因素和四水平的正交试验分析了不同结构参数组合下的修正系数值,极差分析和方差分析的结果均表明刀齿占总长的比例和刀齿螺旋角是影响等效直径值的主要因素,通过回归分析方法建立了实际刀具等效直径的修正模型.以实际的3把铣刀为验证对象,分别以等质量法、等面积法、等惯性矩法、等平均惯性矩法以及所提的修正模型来预测铣刀的频响和固有频率,通过对比发现所建立的等效方法精度最好. 相似文献
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光固化成型中的变形分析 总被引:4,自引:0,他引:4
利用应变计电阻电测技术,通过实验对激光快速成型过程中工件的变形问题进行了动态分析,地对加工参数(如扫描速度、扫描间距、扫描方式)影响工件变形程度的问题,对这种变形的差异进行了对比和分析,并由此得出扫描速度、扫描间距、扫描方式影响工件变形的规律,提出了加工过程中的优化参数。 相似文献