压印光刻中高精度莫尔对准方法的研究

针对分步压印光刻工艺中多层套刻的高精度对准问题,提出一种应用斜纹结构光栅副实现x、y、θ三自由度自动对准的方法.光栅副分为4个区域,应用光电转换器阵列检测光栅副相对移动所引起的莫尔信号变化,通过电路系统处理可同时得到在平面x、y、θ三自由度的对准信号.驱动环节采用直线电机和压电驱动器作为宏微两级驱动,其分辨率分别为0.2μm和0.1nm,在激光干涉仪全程监测下,与控制系统一起构成闭环系统实现自动对准定位.实验结果表明,在多层压印光刻工艺中,实现了压印工作台步进精度小于10nm的高精度定位要求,使整个对准系统的套刻精度小于30nm.因此,应用这种莫尔对准方法可以获得较高的对准精度,同时能够满足压印100nm特征尺寸套刻精度的要求.     

智能建筑的温度测试系统

随着智能建筑数量增加和功能提高，智能建筑逐渐走进人们的生活。本文介绍智能建筑的构成和由DS1820构成的单线多点的自动测试系统的硬件结构和软件流程。     

气压和温度自动检定系统的研制

文章介绍了一种气压和温度自检定系统,用于检定空盒气压表和空盒气压计等气象仪表。系统采用PID控制方式对气压和温度两个变量进行多点控制,应用表明整个系统控制稳定,控制精度高,且在测点变化时具有良好的跟踪性能,能在短时间内消除静差。系统参数和控制参数可调整,整个检定过程可以自动进行;检定记录可以自动报表,合格仪表可以打印检定证书。     

Dielectric and Structural Properties of SrTiO_3 Thin Films Grown by Laser Molecular Beam Epitaxy

Dielectric and Structural Properties of SrTiO_3 Thin Films Grown by Laser Molecular Beam Epitaxy[1]Hao J H,Gao J,Wang Z,et al.Interface structure and phase of epitaxial SrTi O3(110)thin fil ms grown directly on silicon[J].Appl Phys Lett,2005,87:131908. [2]Hao J H,Gao J,Wang HK.SrTi O3(110)thin fil ms grown directly on different oriented silicon substrates[J].Appl Phys A,2005,81:1233. [3]Aki mov I A,Sirenko A A,Clark A M,et al.Electric-field-induced soft-mode hardening in SrTi O3fil ms[J].Phys Rev Lett...     

水下作业工具深水液压动力源

研究了深水液压动力源的有关问题,探讨了水压力自动补偿器组成、原理及作用,介绍了自动补偿式深水液压动力源的工作原理、组成、压力自动补偿器的结构,论证并推导出水压力自动补偿器容积公式,研制了深水液压动力源,并进行了系统试验.     

通用串行总线在测井模拟信号采集中的应用

设计了一种基于通用串行总线（USB）的用于采集测井模拟信号的数据采集系统。介绍了该总线的特点及其优越性，对用该总线实现模拟信号采集的整个组成部分做了详细的说明。该系统设计包括硬件设计、单片机固件设计以及设备驱动程序设计和用户应用程序设计。对USB驱动程序栈和应用程序中打开USB设备的方法给予了简要分析。测试结果表明，该系统实测精度超过13位二进制，其控制逻辑灵活，便于升级扩展。     

硬盘播出系统在中小电视台的技术研究

硬盘播出系统是一种全新的广播电视播出系统，与传统的磁带播出系统相比有显著的优点，它提高了系统安全优质播出的可靠性．本文对中小型电视台在改用硬盘播出系统实施过程中的工程技术问题进行了研究．     

显示位图文件的一种简便方法

如何从BMP文件读出图像并显示在MFC应用程序窗口，现已有很多实现方法。通过一个程序实例，介绍了一种非常简单位图文件显示方法，所需代码只有十余行，短小实用。     

带式输送机输送带跑偏的分析及处理

对带式输送机运转过程中输送带跑偏的现象进行了分析，提出了输送带跑偏的调整方法和预防措施。     

基于通用接口母线的自动测试方法

论述基于GPIB智能化测试系统的原理和设计开发方法。通过高级语言封装，统一发送命令、接收执行结果和执行结果提取函数，系统建立了逻辑规则库，在测试过程中根据测试结果与设置的报警阈值等参数进行比较，根据设定的判断规则，对测试流程进行动态调整。