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51.
采用溶胶凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了(Bi, Nd)4Ti3O12铁电薄膜.将薄膜分别进行每一层、每二层、每三层500 ℃空气中预退火10 min,分别称为样品a、b、c,最后都于氮气氛中680℃总退火半小时. 结果表明预退火工艺对薄膜的铁电性能影响很大.样品a、b的铁电性能(2Pr分别为47.8 μC/cm2和51.9 μC/cm2)远远高于样品c(2Pr = 28.7 μC/cm2).三组薄膜都呈现良好的抗疲劳特性. 相似文献
52.
采用溶胶一凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了Bi3.15Nd0.85Ti3O12铁电薄膜。将薄膜分别进行每一层预退火、每二层预退火、每三层空气中500℃预退火10min,分别称为a.b、c组薄膜,最后都于氮气氛中680℃总退火0.5h。结果表明,预退火工艺对薄膜的铁电性能影响较大,而对取向基本没有影响。同时,a,b两组薄膜的铁电性能(2Pr分别为47.8μC/cm2。和51.9μC/cm2)远远优于c组薄膜的铁电性(2Pr=28.7 μC/cm2)。所有Bi3.15Nd0.85Ti3O12薄膜都呈现良好的抗疲劳特性。 相似文献
53.
本文介绍了两种光学镀膜真空淀积技术——离子辅助淀积和反应离子镀,并详述了近年来的应用及进一步的发展。 相似文献
54.
应用激光与光学薄膜作用产生的等离子体形貌,研究了该作用过程和机理,实验结果与之吻合。 相似文献
55.
用射频交流溅射法制备了具有不同层厚的FeSi/Cu多层膜系列样品。通过铁磁共振谱测量发现:当Cu层厚度(dCu)小于15A时,FeSi层间发生交换耦合。室温饱和磁化强度测量发现:dCu<15A,磁化强度随dCu减小而明显下降。磁光克尔谱测量则表明:dCu<15A时,谱线出现异常。将上述三个结果进行综合分析提出如下模型:dCu<15A,Cu层中传导电子被反向极化,并通过RKKY相互作用使FeSi层间 相似文献
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57.
58.
本文对双离子束溅射淀积法制备的类金刚石碳膜进行了大气中的热退火研究。退火温度300℃,时间分别为1.5h和3.0h。对退火前后的样品分别作了红外透射谱、Raman光谱和电阻率的测量,并在退火过程中对膜层电阻率进行了即位测量。结果表明,300℃的退火并不能使膜层中的C-H键断裂,而使膜层结构趋于完整,膜层氧化变薄,其电阻率和红外透过率过率增高;但退火对膜的影响程度只与退火温度有关,而与退火时间无关。 相似文献
59.
用离子束溅射方法制成了非晶态软磁薄膜,具有良好的软磁特征。本文研究了离子能量、氩气压强、沉积速率和入射角对磁膜性能的影响。 相似文献
60.