高精度平面光栅尺测量系统减振技术研究

高精度平面光栅尺测量系统的测量精度直接影响浸没光刻机硅片台的定位精度和稳定时间.考虑到安装在平面光栅尺载体上的平面光栅尺因其载体固有频率较低,易受到主基板残余振动和高速硅片台气压扰动而产生振动,因此研究平面光栅尺载体的减振技术意义重大.文中阐述了一种新型平面光栅尺载体减振方法,围绕热解耦技术和粘滞阻尼吸振技术,进行理论建模、仿真分析和测试评价.结果表明粘滞阻尼器和柔性结构并联系统可以显著改善平面光栅尺载体结构动态特性,提升平面光栅尺测量系统的测量精度及缩短硅片台的稳定时间.      

一类欠观测系统的可观测性研究

探索月球及月球以远天体对推动太阳系起源、行星演化、生命起源等基础科学问题的研究至关重要,已成为各航天强国的发展重心.由于深空探测任务距离遥远,深空探测器依靠地面测控网进行导航难以保证安全可靠运行,亟需发展自主导航能力.基于序列图像的自主导航系统具有成本低、功耗小、全程适用和数据结构简单等优点,可有效降低深空探测器自主导航系统的空间及能源负担,是实现深空探测器自主导航的理想手段之一.但是,受深空探测目标先验信息缺失及复杂环境下系统误差难以自主校正的影响,基于序列图像的深空探测自主导航系统属于典型的欠观测系统.为提升此类自主导航系统的精度和工程实用性,需以可观测性理论研究为基础,指导自主导航系统的设计及工程实现.针对可观测性理论研究的实际需求,本文首先从非线性系统可观测能力的表征、判定及量化等三个方面系统地阐述了现有理论及方法的研究现状;之后,调研了一类欠观测系统(基于序列图像的自主导航系统)的可观测性分析方法,给出了针对此类系统的可观测性研究现状,并讨论了各方法之间的优劣;最后,通过对已有成果进行总结归纳,探讨了现阶段欠观测系统可观测性研究存在的不足以及未来的发展趋势.     

浑沌系统与随机系统的转换及其控制

研究了具有浑沌运动的非线性确定动态系统与随机过程之间相互转换的原理和方法。讨论了浑沌系统的控制问题和最优化方法所遇到的困难。提出了浑沌控制的三个目的和一种次优控制方法。     

旋转场辨向层栅激光多普勒测振系统研究

弱散射光的回收处理和速度方向的辨别均是激光多普勒测速技术中的关键问题。 采用单周期层栅可充分回收利用信号光能量，应用旋转场可广泛灵敏和简单方便地辨 别速度方向。在国外近几年研究成果的基础上，自行建成了旋转场辨向层栅激光多普 勒测振系统并成功获得了多普勒信号。本文借助于层栅理论和琼斯矢量综述其机理方 面的理论与实验研究工作，并举例说明基于旋转场辨向各种测试手段中信号叠加方案 的一般分析方法。     

反馈系统中内部独立的循环系统的性质及排序

本文研究了反馈系统中内部独立的循环系统的性质，并对该系统给出了一个计算量小，使用方便的排序方法．     

机床传动链精度理论的系统研究

本文运用系统、相关和对比思维准则,将传动链误差、原始误差和工件加工误差进行相关性考察,把机床的四类内联传动链(分度链、螺纹链、差动链和展成链)视为一个系统,分析其误差的形成机理和误差传递规律,推导其数学模型。结果是四类表达式的结构相仿,都有波动性和趋向性两部分,为精确的误差分析,为简化误差信号处理提供了理论基础。     

不确定离散随机系统协方差的定界研究

协方差的定界研究在随机系统的稳定性分析，模型简化的协方差等价实现及约束方差配置理论中起着重要的先导作用。该文在系统矩阵和噪声输入矩阵均存在参数摄动的情形下，研究其协方差的定界估计问题。     

矿井提升机TKD-A系列电控系统按等行程绘制限速凸轮板方法的分析

本文通过分析找出了原来计算方法存在的问题,并推导出一种新的计算方法。经过实践证明该方法是可行的,误差小、制作、修正方便。     

并行工程及其在转化企业管理机制中的应用

９０年代以来，并行工程日益受到企业的重视．本文以制造业中的新产品开发为例说明并行工程及其运行方式，阐明并行工程与系统工程的关系，举例说明并行工程在制造业中的应用．文中还对并行工程在我国制造业中的应用与发展进行了初步探索．     

流体逻辑网络失效状态的研究与计算机处理

本文对流体逻辑网络系统的偶然失效状态进行了全面的研究。就组合网络及时序网络的各种失效状态进行了详尽的分析及系统的归纳,分析了可能产生的失效状态并研究了解决方法,就此研制了分析与消除流体逻辑网络系统偶然失效状态的计算机软件。此软件采用FORTRAN77高级程序设计语言编写,能对大型的、复杂的网络系统进行分析与处理,其运行结果能指出网络系统的偶然失效状态及其类型,并能自动消除静态及静态逻辑型偶然失效状态。