耐高温压阻力敏硅芯片及静电键合工艺

采用微型机械电子系统(MEMS)技术制作出了平膜型硅隔离(SOI)耐高温压阻力敏硅芯片,采用静电键合工艺将该力敏硅芯片封装在硼硅玻璃环上,制作出倒杯式弹性敏感单元.分析了静电键合时力敏硅芯片与玻璃环的对准偏差对力敏硅芯片非线性的影响;实验验证了静电键合工艺对硅芯片温度性能的影响以及制作的耐高温压力传感器的性能.结果表明,对准偏差对硅芯片的非线性有较大影响;静电键合工艺对硅芯片的零位时漂和热零点漂移影响较小;制作的耐高温压力传感器具有优良的性能指标,能满足实际的工程应用需求.     

接近开关与 PLC数字量输入模块的配型与连接

根据接近开关原理及特点,以三菱 PLC数字量输入模块为例,论述常用接近开关的选型.比较接近开关与 PLC数字量输入模块的连接方法及注意事项.     

具有不确定参数的温度传感器的动态相对校准(英文)

存在动态偏差情况下的传感器校准,与多个传感器的相对校准类似.实现相对校准对许多控制问题都很重要,比如需要产生精确温度梯度的问题、保持均匀与稳定温度场的问题.本文以温度传感器为例,对静态(稳态)校准与动态校准从理论和实验两个角度进行了对比.动态校准的一个优势是其适用于任何测量数据,但其需要建立一个测量仪器的动态模型.尽管本文只研究了一个由三个传感器构成的简单设备,但其结果也适用于更复杂的情况.这正是因为动态校准的另一个显著优势,即其能在任何设备上进行校准,校准的一个前提是所用的动态模型与传感器具有相同的阶次.本文证明了可辨识性(可校准性)条件,并通过以迭代方式求解一个非线性加权最小二乘问题,实现了校准.对解的收敛性、一致性和渐近效率,不但给予了理论证明,且通过蒙特卡罗模拟实验进行了验证.     

基于ICP传感器的参数可变的冲击波存储测试系统设计

针对现有冲击波超压测试系统带宽不足的现状,分析了不同类型的压力传感器的优缺点,采用两级放大电路设计了基于ICP传感器的参数可变的冲击波存储测试系统。主要介绍了ICP传感器的电源电路,参数可变电路及滤波电路,可根据不同的测试要求设置参数,提高了系统的灵活性。 采用FPGA进行数字逻辑控制设计,提高了测试系统的稳定性和可靠性并减小了系统体积。最后在自然环境和现场环境下分别进行了试验,结果验证了其可靠性、生存性、灵活性。     

基于信息层的捷联惯导信号反演技术

针对惯性导航的器件价格昂贵且建模复杂,以及全球导航卫星系统(global navigation satellite system,GNSS)/惯性定向定位导航系统(inertial navigation system,INS)组合导航对信息传递速度较慢的问题,提出了一种基于信息层的捷联惯导信号反演技术.在整理归纳了惯性...     

多静止站被动单目标定位跟踪算法

把方位作为被动传感器的观测信息属于不完全观测．文中的方案是先用最小二乘法估计出目标距离,再用卡尔曼滤波进行跟踪．单一的被动传感器定位需要机动,而多个被动传感器联合工作,可以在观测站静止的情况下完成定位．通常的最小二乘是寻求到各传感器的方向线距离平方和最小的点,而文中选择另一种推导方法,由于该方法也用到最小二乘理论,亦称最小二乘法．文中将该方法与卡尔曼滤波结合进行目标跟踪仿真,结果表明该方法是有效的．     

BOD微生物传感器的研究

本文采用夹层法,将异常汉逊酵母固定在氧电极的透氧薄膜与多孔醋酸纤维膜之间,构成一种流通式BOD测试系统。对新研制的电极的各种性能,包括各种理化因子对电极响应的影响作了系统的测试,发现电极电流差值与标准废水的BOD之间存在良好的线性关系,其线性范围为1～45mg/L,电极寿命长达180天以上,响应时间小于20分钟,电极测定重演性好,误差小于6%。     

高温气冷堆包覆燃料颗粒尺寸的光电测长法

包覆燃料颗粒是高温气冷堆燃料元件的重要组成部分，燃料颗粒（直径约１ｍｍ）的尺寸是重要的性能指标。光电测长法采用分辨率为０．０２μｍ的高精度光栅作为传感器，接触式直接量测被测物体，最大限度地减少了测量误差。光电测长系统由光电传感器测试头、样品工作台、台式光栅数显表和微机数据采集处理系统组成。测量２００个包覆燃料颗粒尺寸需要３０ｍｉｎ。测量的重复性偏差为０．０５μｍ。光电测长法完全能满足包覆燃料颗粒尺寸在线检测要求     

空间遥感器的杂光计算

提出了一种空间遥感器的杂光计算方法,可用以估计遮光完善光学系统的杂光水平.对于每一个入射角度,杂散光的计算量降低为只计算三条主要散射路径,但在计算中将主镜和遮光筒表面作了分块计算的复杂化,以提高估计的可靠性.实例计算表明,分析结果接近大型软件的结果。     

用MATLAB优化计算差动变压器的线性范围

经对差动变压器线性范围的理论分析，认为影响差动变压器线性范围的关键因素是：差动变压器轴向磁场的磁感应强度，而差动变压器轴向磁场的磁感应强度受初级线圈的长度和平均半径、衔铁的长度和半径、初级激励电压等因素影响。采用MATLAB对影响差动变压器轴向磁场的磁感应强度的各个因素进行了模拟设计计算，选定了优化参数并制作差动变压器。实验证明，优化后制作的差动变压器线性范围合乎设计要求，用MATLAB计算分析差动变压器线性范围的方法可行。