半导体生产线批加工设备调度规则

批加工设备调度是半导体生产线调度的重要组成部分,对半导体生产线性能有重要影响。在综述批加工设备调度研究成果的基础上,提出了同时考虑即将到来工件与下游设备负载情况的半导体生产线批加工设备调度规则(Scheduling Rule for Batch Processing Machines in Semiconductor Wafer Fabrication Facilities,SRB)。基于三种不同规模的半导体生产线模型,在非批加工设备使用不同的调度规则的情况下,对提出的SRB进行了仿真验证。仿真结果表明,与目前常用的固定加工批量调度规则相比,SRB能够更好的改善半导体生产线性能,获得较高的工件移动步数、产量和准时交货率,以及较低的加工周期。     

基于EOPN的晶圆制造系统实时调度仿真平台

针对半导体晶圆制造系统(SWFS)的组织构成、加工过程和生产模式的典型特点,以拓展型面向对象Petri网(EOPN)为工具对该复杂系统建立了模型,在准确描述晶圆制造过程的基础上采用面向对象技术设计并开发了一套SWFS实时调度仿真平台.该平台不仅能够真实再现半导体晶圆的反复重入型加工过程,而且能够集成多种实时调度与派工控制算法,以准确高效的仿真计算进行算法测试和相应系统绩效的评价与预测.SWFS实时调度仿真平台的开发成功对SWFS的建模、调度和控制等相关研究起到积极的支持作用.     

光栅调制深度和深度误差对衍射效率影响的理论分析

本文通过对三种典型衍射光栅的透过率函数进行傅里叶级数展开,系统地计算并分析了其衍射效率,并得到了衍射效率的光谱响应和制作误差容限,从而为光栅根据不同需要进行优化设计提供了理论依据。     

《子见南子》新论

新编历史剧《子见南子》是林语堂一生中唯一的戏剧创作 ,由于特定的时代背景 ,人们忽略了它　　作为一个历史剧的本身价值所在。本文采用当代阐释学的观点 ,从视界交融、艺术虚构、智光透射三方面来对　　这个剧本作了一次定性剖析 ,以求获得一种全新的理解     

微机电系统科学与技术发展趋势

阐明了微机电系统（ＭＥＭＳ）的学科内涵与应用范畴,着重介绍了国外ＭＥＭＳ的研究情况,研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别;论述了ＬＩＧＡ加工、刻蚀技术等微制造技术。总结了国内的研究工作,给出了我国在基础理论、材料、工艺、元器件、测试及微系统等方面的研制情况,并提出发展我国微电机电系统的几点建议。     

SiO2-Al2O3/HA空心微球的制备及相关机理研究

采用化学沉积技术在SiO2-A12O3空心微珠表面沉积羟基磷灰石获得SiO2-A12O3/HA空心微球.结果表明羟基磷灰石以颗粒状均匀地沉积在空心微珠表面,且所得微球仍具有理想的球形结构;SiO2-Al2O3/HA空心微球中除构成SiO2-A12O3空心微珠的主要组分(3Al2O3·2SiO2、SiO2)及羟基磷灰石外...     

原位自生Sip/ZA40复合材料的组织及性能研究

采用原位自生铸造法制备了ZA40-1.5wt%Si、ZA40-3.0wt%Si、ZA40-4.5wt%Si和ZA40-6.0wt%Si合金,获得了Si颗粒分布均匀、尺寸细小、形貌规则的锌基复合材料。分析了复合材料的组织形貌,检测了复合材料的硬度和冲击性能。研究结果表明:高铝锌合金加入硅后,随着硅含量的增多,Si除了在组织中形成共晶硅相外,还析出初晶硅;随着硅含量的增加初晶硅相数量增多,合金的硬度提高,冲击韧性下降。     

历史与虚构的完美结合--论君特·格拉斯的最新力作《蟹行》

《蟹行》以“古斯特洛夫号”的沉没为中心,再现了德国历史上的一场旷世海难和一幕幕悲惨的战争画面。同时,基于当代现实,虚构了一个真实可信的故事。真实与虚构通过“蟹行”的方式完美地结合在一起。《蟹行》所具有的强烈的时代气息和深刻的历史意蕴,已经引起了世界范围的关注。     

晶闸管铝镓闭管扩散工艺的计算机模拟

为了对晶闸管特性进行计算机模拟,有必要对其P区的杂质浓度分布建立准确而便于计算的模型。文中对形成P区二段式杂质分布的铝镓分步闭管扩散工艺进行了讨论。对较低浓度铝的最终分布着重考虑它在扩镓过程中的再分布,而对高浓度镓的最终分布则着重考虑扩散系数的变化。与实验样品的扩展电阻探针测试数据进行比较后表明,本工作所用模型与实验结果有较好的吻合,适宜于在实际工艺过程中使用。     

Fabrication and formation mechanism of NbCx-C three-dimensional netted fibers

Micrometer NbCx-C three-dimensional netted fibers were synthesized by the carbothermal method under 0.1 MPa of N2 ambient atmosphere at a relatively low temperature. Raw materials were commercial powders of Nb2O5 (99.95%), reactive carbon (99.99%), NaCl (99.95%) and sucrose (99.94%). The relationship of the fabrication processing with the composition, crystal structure and morphology of fibers was investigated. The formation mechanism was also proposed and discussed.