聚焦离子束无掩膜注入单晶硅离子浓度深度分布的研究

随着聚焦离子束(focusedion beam,FIB)无掩膜微细加工能力的迅速发展,结合精确定位能力,FIB已成为新型且出色的纳米制造工具.对FIB无掩膜注入单晶硅衬底的注入效果与离子束流、注入剂量的关系进行研究发现,以固定能量注入的离子,当注入剂量恒定,离子浓度随深度的分布与离子束流大小无关;当离子束流恒定,注入离子的表面浓度随注入剂量的增加而增加,但是由于FIB注入的同时会刻蚀材料表面,注入剂量达到饱和值后,会造成材料一定程度的减薄.     

双束激光法测薄透镜焦距的实验探究

利用激光特性,结合透镜三条特性光线之一,提供了一种利用平行激光束测量凹、凸透镜焦距的方法。该方法仪器装置简单,准确率高,拓宽了实验思路与方法,可作为学生设计实验。     

Phakic IOL 结构及植入位置对人眼视觉质量的影响*

以Hwey-Lan Liou眼模型为基础,构建近视及远视态人眼模型,利用ZEMAX光学设计软件通过光线追迹研究了不同结构的有晶体眼人工晶体(Phakic IOL)及植入位置对屈光矫正后人眼成像质量的影响。以Zernike标准多项式系数离焦项C4,及调制传递函数(MTF)对像质进行表征,结果表明:当植入位置固定,屈光度相同时,Phakic IOL厚度越小,对近视态人眼眼视觉矫正质量越好,对于远视态人眼,晶体厚度影响不明显,离焦项C4大小与人眼MTF曲线反应的人眼成像质量一致;在离焦矫正相同情况下,PIOL植入位置对眼光学系统成像质量基本无影响;凸凹结构的PIOL对人眼视觉矫正效果要优于其他结构。     

接近式光刻衍射光场的快速计算机模拟

接近式光刻中一般采用柯勒照明系统,并采用蝇眼透镜形成多点光源均匀掩模面的光场分布.利用基尔霍夫衍射理论及多点光源的衍射光场非相干叠加方法,对光刻胶表面的衍射光场进行了快速计算机模拟,并与霍普金斯理论计算结果进行了分析比较.结果表明采用基尔霍夫衍射理论及多点光源的衍射光场非相干叠加的模型不仅快速而且也可以比较准确地模拟接近式光刻的衍射光场分布.     

一种微型变焦系统的设计

为适应某些特殊领域对微型化和简单化的需要,运用光学设计软件CODEV,在传统机械补偿式变焦镜头的基础上,结合非球面透镜理论,设计了一个可见光波段的只有一个移动镜的4片式微型变焦系统。此系统具有结构简单、精度高、成本低、体积小等特点,可满足在变焦范围内连续清晰成像的要求。     

双包层光纤激光器泵浦源的光束整形及耦合系统

为了提高双包层光纤激光器泵浦光的耦合效率,对泵浦光采用直角棱镜组进行了光束整形、空间滤波、非球面镜聚焦。实验测得滤波小孔尺寸为2mm×0.8mm时,聚焦光斑为325μm×200μm,系统的耦合效率为38％。该系统适当改进后可用于实施百瓦级光纤激光器的泵浦实验。     

白内障超声乳化加晶体植入术的护理

通过对白内障的患病原理进行分析,提出了有效的的超声乳化晶体植入的手术、术前准备及其术后护理方法,并对整个超声乳化晶体植入手术进行分析总结,认为心理护理和术后护理是手术成功的良好保障．     

WC—Co硬质合金的MEVVA源离子注入表面改性研究

采用了卢瑟福背散射，俄歇电子能谱和Ｘ射线衍射等现代表面分析技术，研究了Ｔａ离子米注入和Ｔａ＋Ｃ双注入的钴粘结碳化钨硬质合金表面的微化学和微结构变化。在此基础上，进行了进口和国产的ＷＣ－Ｃｏ刀具的Ｔａ注入和Ｔａ＋Ｃ双注入的表面改性研究，取得了明显的应用效果。     

基于面阵CCD测量镜头焦距的一种方法

提出一种实时测量镜头焦距的方法,用彩色面阵CCD实时采集光谱图像,然后利用MATLAB软件环境计算出镜头焦距值,并对结果进行误差分析.     

利用部分补偿透镜进行非球面面形测量

提出用部分补偿透镜进行非球面检验的方法.对部分补偿透镜的设计方法和要求进行了研究,针对3种不同参数的非球面设计了部分补偿透镜,结构比零补偿器更简单.分析了各种部分补偿透镜的非球面度补偿范围,证明用简单且易于制造的部分补偿透镜补偿不同相对孔径和非球面度的非球面.测量精度可达到λ/10.