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由于常规等离子体刻蚀系统在晶圆边缘处的阻抗与晶圆中心处的阻抗不一致, 使离子在晶圆边缘处的运动轨迹发生偏移, 很难满足越来越高的刻蚀工艺均匀性及深宽比的要求。本文提出一种通过调整晶圆边缘阻抗进行边缘离子运动方向优化的方法, 可以连续实时地调整边缘离子的运动轨迹, 实现对边缘离子运动方向的控制。研究结果表明, 离子的运动方向可以被优化为垂直于晶圆表面, 从而能获得良好的刻蚀速率均匀性及垂直的刻蚀形貌。 相似文献
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本文合成了L─噻唑烷─甲酸二硫代甲酸钠和Co2 配合物,其分子式为MX2(M=Co2 ,X=L─噻唑烷─4─甲酸二硫代甲酸离子).红外光谱研究表明配体与Co2 为双齿配位. 相似文献
94.
本文用Shimadzu HIC-6A高效单柱离子色谱仪和Shim-pack IC-CI低容量阳离子色谱柱,研究了不同浓度与不同pH值的淋洗剂对金属离子保留行为的影响,优选4.0 m mol/L HNO_3淋洗同时测定Li~+、Na~+、K~+、R6~+和Cs~+离子以及优选1.25m mol/L乙二胺和5.00m mol/L柠檬酸淋洗同时测定Be~(2+)、Mg~(2+)、Ca~(2+)、Sr~(2+)和Ba~(2+)离子的最佳色谱条件,并用于饮水的测定.本法标准加入回收,碱金属5种离子的回收率达101.2%~103.5%;碱土金属5种离子的回收率达99.80%~107.7%.水样分析,Na~+和K~+离子的RSD为0.86%和1.02%,Mg~(2+)和Ca~(2+)离子的RSD为0.364%和0.70%。 相似文献
95.
放射性重离子束在生命科学领域的应用 总被引:3,自引:0,他引:3
应用放射性重离子注入活细胞和生物大分子,然后采用放射自显影,放射性测量和分子操作等研究技术,可对重离子注入质量沉积效应开展进一步的研究。放射性束还可应用于一些基本生物学问题的阐明及放射性药物的研制等方面。 相似文献
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研究了适合于工业化生产的猪心肌乳酸脱氢酶的初步提取工艺,经硫酸铵分级沉淀得到酶的比活为86.5U/mg,再经DEAE离子交换层析比活可达525.0U/mg,酶活总收率为54.5%.并对酶促反应的最适条件进行了研究,其最适反应pH为7.6~7.8,最适反应底物浓度分别为NADH5mg/mL和丙酮酸钠25mmol/L。 相似文献
97.
L. W. D. Weber 《Cellular and molecular life sciences : CMLS》1987,43(2):176-178
Summary A known ornithine decarboxylase assay working with ion exchang separation of [3H]ornithine and [3H]putrescine has been revised. The assay can be performed in disposable 1.5 ml vessels with a total of four pipetting steps. The separation of enzyme substrate and product, respectively, requires 3 h per 50 samples. The detection limit is about 50 pmoles [3H]putrescine formed. 相似文献
98.
E. Carafoli E. Garcia-Martin D. Guerini 《Cellular and molecular life sciences : CMLS》1996,52(12):1091-1100
The Ca2+ pump of the plasma membrane (PMCA) is regulated by a number of agents. The most important is calmodulin (CaM), which binds to a domain located in the C-terminal portion of the pump, removing it from an autoinhibitory site next to the active site. The CaM-binding domain is preceded by an acidic sequence which contains a hidden signal for endoplasmic reticulum (ER) retention. Chimeras of the PMCA and endoplasmic reticulum (SERCA) pumps have revealed the presence of a strong signal for ER retention in the first 45 residues of the SERCA pump. Four gene products of the PMCA pump are known: two of them (1 and 4) are ubiquitously expressed, two (2 and 3) are specific for nerve cells and may be induced by their activation. Mutagenesis work has identified four residues in three of the transmembrane domains of the pump which may be components of the trans-protein Ca2+ path. The mutation of two of these residues alters the membrane targeting of the pump. 相似文献
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100.