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根据激光定位光栅扫描电子束曝光机工件台具有的特点,设计了x向用静压气浮导轨结构,实现快速扫描;y向采用机械滚珠导轨,满足间歇步进运动,即走一步、停一段时间再走一步、为保证在高速运动下的稳定性,将机械驱动系统、激光测量和计算机组成一个闭环控制系统,利用计算机不断采样叠代,选择合适的校正系数适时校正,实现了快速运动精确达到预定位置。采用双频激光高精度测量定位,从误差分析出发,对结构进行了改善,保证了最终精度。 相似文献
133.
本文利用透射电子显微镜、X光、化学物相分析等研究和证实了方铅矿中次显微金的赋存状态,从而为金的选矿方法、流程设计及金的回收工艺提供了重要的依据。 相似文献
134.
假定空间静电电位φ的磁感应强度矢量(?)在实验室坐标系中的分布是已知的,利用变分方法研究了正交和非正交两种曲线局部坐标基下宽电子束聚焦的普遍理论.将变分原理下的细电子束聚焦推广到宽电子束聚焦,证明了其结果与用电动力学方法研究宽电子束聚焦的一致性。 相似文献
135.
电阻是金属的最赋有表征性的特性。认识“电阻”的关健环节是电子散射机构问题。本文围绕着这一关键问题,对比了现代能带论与经典理论,并且用能带论更新了“电阻”的经典概念。 相似文献
136.
章天金 《湖北大学学报(自然科学版)》1991,13(4):354-358
本文从五个方面详细讨论了选择扫描电镜最佳成像参数的方法。并通过对两种纯元素对样品的原子序数反差的计算得到两点结论:(1)当两元素的原子序数差减小时,其图像的空间分辨迅速提高。(2)在快速帧速率下视频寻找成像区域时,为了分辨出图像中低于1%的反差水平,束流需达500nA束斑直径达1μm或更大些。 相似文献
137.
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采用密度算符方法,研究了在蛋白质分子中通过所激发的孤立子把电子从供体传送到受体的几率大小。把存在于生物环境中并有相互作用的生物蛋白质看成是与一个热源接触,具有耗散特征的动力学系统,此种情况下激发的孤立子和由孤立子传送的电子几率与电子同孤立子的耦合程度、孤立子的振幅与速度及动力学系统的耗散特征和供体与受体之间的距离有关,其结果与实际情况一致。 相似文献
140.
计算了中子自旋波穿越均匀磁场层过程的精确解,讨论了有限厚磁层、极薄磁层、回波共振和混合态入射等情形,提供了贯穿系数、极化矢量等的精确表达式,从而为高精度的中子干涉仪测量提供了一个基础. 相似文献