基于MVA的半导体生产过程质量分析方法

针对半导体晶圆生产中存在着位置间变异、晶圆间变异及批次间变异,提出了基于多变异分析(MVA)的工序质量分析方法.该方法通过建立基于方差分析晶圆生产工序质量的多变异分析模型,研究了晶圆生产过程中3种变异与总变异之间的定量关系.由定量关系推导出晶圆生产中的抽样规则,并提出了3种常用过程能力指数Cp,Cpk和Cpm的改进计算方法.通过在晶圆生产中的实际应用,证明了该方法中的抽样规则能捕获加工过程中主要随机变异,该方法计算获得的过程能力指数可较为真实地反映生产过程质量状况.     

组织工程多孔管状支架的低温挤出成形

聚乙二醇/聚对苯二甲酸丁二醇酯(PEG/PBT)-1,4二氧六环溶液体系在温度低于20℃时可变成凝胶态。将数字挤压/喷射技术与热致相分离技术结合,提出了一种新型多孔管状支架成形技术——低温挤出成形技术。构建了基于该技术的成形平台,研究了成形温度对支架宏观形貌、孔隙率、力学性能等的影响。该技术成形的支架孔隙率最高可达95%,微孔尺寸分布为35~48μm,支架弹性模量为61.9~106 kPa。人类颌下腺细胞种植实验表明:支架具有良好的细胞亲和性,在涎腺组织工程中具有良好的应用前景。     

核Drell—Yan过程中的能量损失效应

核Drell-Yan过程中的能量损失效应是不同于束缚核子部分子分布函数核效应的另外一种核效应。用G．T．Garvey和T．C．Peng提出的处理能量损失的方法分别计算了入射质子束能量E_(beam)为120 GeV,50 GeV的(p W)/(p D)的Drell-Yan微分截面比,对核Drell-Yan过程中的能量损失值与入射夸克在A核中的平均路径长度〈L〉_A的关系进行了讨论,提出用低能量的质子束、对核子数A为不同值的多种核子进行实验来进一步研究能量损失效应的建议。     

一种上下文集成的冲突处理方法

为了实现服务组合对环境的适应性,设计了能满足上下文动态集成的模型,并使用CC/PP的RDF创建P rofiles描述上下文。详细分析上下文集成中出现的冲突情况,定义优先级和效用因子,解决上下文集成中的冲突问题。结合原型系统进行测试,并给出了实验结果。研究结果表明:在不同的冲突策略情况下,该方法能在可接受的时间内解决冲突。     

结构应力S(t)复合指数几何过程最大值分布

假定在设计基准期[0，T]内结构应力为复合指数几何过程，给出应力随机过程的样本函数的最大值分布，并获得其近似表达式。     

高浓度凝结芽孢杆菌粉剂的研制及特性研究

比较了喷雾干燥法和真空冷冻干燥法所制备高浓度菌粉中菌体的存活率,确定了喷雾干燥法是制备TQ33菌粉的适用方法。以麦芽糊精(DE<15)或玉米蛋白为填充剂,添加量20%,制得菌粉的活菌量在1.0×1011个/g以上。菌粉经100℃湿热处理60min或经100℃干热处理100min,活菌数下降近两个数量级;在pH1～3的人工胃液中保存2h,活菌数变化很小。以加速实验法研究了该菌制得口服液和胶囊剂的稳定性,预测口服液的有效期在1a以上,胶囊剂的有效期在2a以上。     

金属锌改性HZSM-5催化的固定床反应器中甲醇芳构化工艺条件优化研究

通过等体积浸渍法制备了Zn改性的HZSM-5催化剂,并在连续流动固定床反应器上研究了Zn-HZSM-5催化剂的甲醇芳构化性能。结合X射线衍射(XRD)、吡啶吸附傅立叶变换红外光谱(Py-IR)、N2吸附-脱附方法对金属锌改性HZSM-5催化剂进行了表征。考察了Zn负载量和操作条件对甲醇芳构化反应的影响,并针对甲醇芳构化反应过程中强放热导致催化剂床层温升过高而使催化剂结焦失活的现象,探讨了催化剂床层温度控制的影响因素。研究结果表明,锌改性HZSM-5的最佳负载量(质量分数)区间为2%~3%;2.5%Zn-HZSM-5催化的固定床反应器中甲醇芳构化的最优工艺条件为常压,400~430℃,甲醇质量空速小于2 h-1;降低甲醇水溶液中甲醇物质的量比、加大气相空速中氮气分压均能降低催化剂床层的温升。     

机加工过程一类能耗估算模型的研究

针对机加工过程中的能量消耗,将机加工过程的能耗分为固定能耗、空载能耗和切削能耗三个部分,推导构建一类机加工过程的能耗估算模型,并通过实验完成能耗模型参数的确定.最后以实际铣削加工案例分析表明,在给定工艺参数情况下,该模型能够较为准确地计算机加工过程中的能耗,为后续的工艺参数优化及工艺决策奠定基础.     

模糊数学建模在人才评价中的应用

人才评价的多因素性及人才评价标准的动态性，使人才评价具有难操作性．用层次分析法决定评价因素集对应的权向量，根据综合评判函数模型，对权向量及评价模糊矩阵施行模糊矩阵的合成运算，得到相应的人才评价结果．并举例说明该方法的应用．     

北京一次降雪的云物理过程作用模拟

应用非静力平衡MM5 V3模式对2001年12月7日一次北京降雪过程进行了数值模拟试验，对云和降水物理过程的作用进行了初步分析。试验结果表明：本次降雪过程是从对流层上层形成冰核向下发展的，中高空的强低温和上升运动区与冰粒子及雪的分布基本吻合，为降雪的进一步发展提供了有利的条件。