电子束曝光机工件台结构的设计研究

根据激光定位光栅扫描电子束曝光机工件台具有的特点，设计了ｘ向用静压气浮导轨结构，实现快速扫描；ｙ向采用机械滚珠导轨，满足间歇步进运动，即走一步、停一段时间再走一步、为保证在高速运动下的稳定性，将机械驱动系统、激光测量和计算机组成一个闭环控制系统，利用计算机不断采样叠代，选择合适的校正系数适时校正，实现了快速运动精确达到预定位置。采用双频激光高精度测量定位，从误差分析出发，对结构进行了改善，保证了最终精度。     

硼酸铝钕晶体中钕离子的电声子耦合S因子

利用黄昆公式和晶格场动力学参数与静晶场参数的关系估算了硼酸铝钕(NAB)激光晶体中钕离子的 S 因子。进一步讨论了 Auzel 关于自激活激光晶体浓度猝灭效应准则的深层含意.     

齿面激光淬火性能试验研究

采用2kW连续式CO_2激光器探讨了激光淬火用于齿面强化的可行性、特点及其意义.分析了齿面激光淬火后淬硬层的硬度分布、组织变化及变形问题。采用Locati快速疲劳试验法测定了激光淬火后的齿面接触疲劳极限。并与齿面高频淬火及未经表面处理的调质齿轮作了对比性研究。结果表明,激光淬火亦适用于齿轮的表面硬化处理。经处理的齿轮(30CrMnTi)具有变形小,齿面光洁度高,齿面硬度高(约HV873)及接触疲劳强度(1 323.1MPa)高等特点。     

A_r~+激光诱导氯气刻蚀硅

本文通过被局域刻蚀硅表面形貌的精确测量,考察了刻蚀速率对于激光功率、波长、反应室气压的依赖关系,讨论了在不同光斑尺寸和刻蚀深度下反应机理的变化,给出了衬底晶向和表面氧化层对刻蚀效果影响的一些新的结果。     

吡喃鎓盐新激光染料的研究

合成了一系列吡喃鎓盐激光染料(P_1～P_8)。对它们的激光性能研究表明:新激光染料调谐范围为66～76nm,显著大于荧光素钠的文献值(29nm),与常用的优良激光染料罗丹明6G相比,激光能量转化率较接近,但调谐范围略宽,且光化学稳定性也很好。新激光染料(P_6)和香豆素4相混合后的混合染料,能够产生能量传递激光,且输出能量转化率(16.3%)高于单一染料(香豆素为12%,P_6为6.9%)。染料的Stokes位移与溶剂的参数之间满足Lippert方程,染料基态时的偶极矩小于激发态的偶极矩。所以新激光染料可用作绿光区激光染料。     

激光光声光谱用于液体样品定量分析的研究

本文报道了光声信号的猝灭现象。在液体样品的激光光声光谱分析中,当待测试样浓度较大时,光声信号强度随浓度增大而减弱。就该现象对液体样品的激光光声光谱测定的影响进行了探讨。     

准分子激光剥离金刚石薄膜

准分子激光剥离金刚石薄膜赵方海，王庆亚，任临福，郑伟，马力，张玉书（集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子工程系，长春１３００２３）关键词准分子激光器，光解剥离，阈值金刚石材料具有材质硬、热导率高等优点￣［１］，是良好的机械加工刀...