化学法清洗硅片过程中清除颗粒的机理(英文)

对化学法清洗硅片过程中消除颗粒的机理作了定量的探讨。颗粒的清除是由于化学蚀刻和颗粒与表面排斥力共同作用的结果。首次提出了最浅蚀刻深度和最小蚀刻速度的概念。最浅蚀刻深度可通过颗粒与表面间作用能的关系进行计算。是小蚀刻速度则可通过蚀刻侧形进行计算。研究结果对于优化化学法清洗过程和设计高性能清洗液都具有重要意义。     

基于PC总线的三维数控雕刻机CNC系统

详细介绍了基于ＰＣ总线的数控雕刻机ＣＮＣ系统,该系统在硬件上采用了ＰＣ总线工业控制机,在软件上采用了模块化结构化设计、中文图形菜单操作、图形编程、模拟仿真和加工轨迹在线显示等先进技术。整个转件系统采用Ｃ语言设计。该系统在文字图案雕刻和模具（如底上的图案）制造等实际中应用,取得了很好的效果。     

气相生长碳纤维的制备

以苯和氢气为原料在石墨,陶瓷等基板表面催化热解制取低成本,高性能的气相生长碳纤维（ＶＧＣＦ）,实验考察了催化剂类热解温度、热解时间,苯带入量,载气,基板材料等参数对ＶＧＣＦ生长情况及性能的影响,并提出了碳纤维的生长机理。结果表明,在合适条件下,用直接播种法制得的ＶＧＣＦ直径为０．７￣１０μｍ,长度为１￣５μｍ,采用金属原子溅射沉积的基板可得到均匀稠密的ＶＧＣＦ,直径为３￣８０μｍ,碳纤维的生长过程     

热电联产热力系统参数与结构方案同步综合

将复杂非线性蒸汽动力系统参数优化扩展到热电联产流程结构和蒸汽参数的联合优化,提出的混合整数非线性规划（ＭＩＮＬＰ）模型包含非凸非线性费用目标函数、复杂非线性过程约束及多方案选择的组合优化０－１变量逻辑约束．应用算例表明,所采用的模型和改进的遗传算法解决热力系统组合方案优化问题是可行的．     

埋藏式钢管的抗外压稳定研究

应用壳体稳定理论结合某一工程实例研究了圆形加劲环式钢管和锚筋式钢管的抗外压稳定问题。首先分析了非对称外压对失稳荷载的影响;其次根据壳体稳定分析结果对锚筋式和加劲环式钢管的失稳形态和影响因素进行了分析,并对现有计算公式进行了评述。结果表明,对锚筋式和加筋环式钢管采用本文提出的按壳体稳定理论建立的有限元计算公式是可靠合理的。     

三维 CAD 曲面四边形网格剖分及局部加密技术

利用ＣＡＤ及ＣＡＧＤ系统中三维自由型曲面造型的数学方法,根据曲面上网格剖分的密度要求及曲率变化,先在定义曲面的参数平面域上生成密度可变的全四边形网格,然后利用曲面方程将参数域上的网格映射到曲面上．实现了任意自由型曲面密度可变的全四边形网格剖分．为有限元分析系统与ＣＡＤ几何造型系统的集成提供了一种高效、可靠的前处理手段．输入数据是ＣＡＤ或ＣＡＧＤ系统中曲面的控制顶点或插值边界．该方法运算速度快,效率高,生成单元的质量好．     

ZSM—5沸石膜合成中几个影响因素

采用水热合成法在Ａｌ２Ｏ３陶瓷载体和ＳｉＯ２复合膜上成功地合成了ＺＳＭ－５沸石膜。考察了ＺＳＭ－５沸石膜合成中载体性质,合成溶液的碱度,水硅质量比,晶化时间等对成膜的影响,探讨了沸石膜的生成机理并对合成的沸石膜进行了ＸＲＤ及ＳＥＭ表征,表明当合成液水硅质量比为１００时,主要是液相晶化机制起艇,表面的Ｓｉ－Ｏ键或Ａｌ－Ｏ键参与晶化,使膜与载体紧密结合。     

气固相同晶取代法Ti—ZSM—5沸石的表征及催化性能

以ＴＥＡＢｒ作为模板剂合成的ＺＳＭ－５沸石为母体,采用固相同晶取代法制得Ｔｉ－ＺＳＭ－５沸石。苯酚与稀双氧水的羟基化反应结果表明,Ｔｉ－ＺＳＭ－５沸石具有显著的催化性能。     

电解法处理不锈钢酸洗废液机理的研究

通过对常用于清洗不锈钢氧化皮的含有氢氟酸酸洗废液进行电解,探讨了在酸性废液中金属电沉积的条件及阳离子表面活性剂对析氢超电势的影响,初步找到了电解法处理酸洗废液再生利用的方法;这对解决国内外至今尚未解决的排放污染问题有较大的实用价值。     

桥梁初步设计专家系统

完成的系统包括上部结构形式和施工方法的选择、墩台类型选择及工程量估算,采用作者提出了双重加权多目标决策方法,对可行的方案进行优化,得出最佳方案,采用多层模糊识别方法对工程量进行估算,系统采用多路线推理、数据驱动和目标驱动相结合的推理策略,运用策略解释法解释推理结论,大量的汉语选择菜单为用户提供了友善的人机界面。