工作气压对氩射频电感耦合等离子体模式转换的影响

摘要：等离子体技术在半导体芯片刻蚀工艺中的应用越来越广泛.研究等离子放电机理和工作条件就显得尤为重要.本文采用Langmuir探针诊断装置测量电子温度和等离子体密度,利用发射光谱诊断装置测得的光谱强度来判断实验腔室内的放电模式.结果表明,等离子体放电可以在E模式和H模式相互转换,并且等离子体密度和光谱强度随着功率的变化而出现反向滞后现象.当工作气压在0.36Pa到0.42Pa区间时,滞后现象将不再存在.此外,随着真空室气压的增大,E-H模转换的跳跃功率先减小而后增大,在工作气压为0.39Pa时最低.射频功率越大,气体保持H模式放电所需气压的范围越大.这些都能为实际工业生产中的气压控制提供参考依据.     

气液两相单孔鼓泡过程的小波分析

运用小波能谱分析中的能量最大准则,对双头电导探针前针在单孔鼓泡口测得的时间序列进行了分析,并用最大尺度强度考察了液体性质和鼓泡口直径对鼓泡过程的影响。结果表明：单孔鼓泡过程,随着雷诺数的增加分为低频鼓泡、过渡鼓泡和高频鼓泡3个过程;最大尺度强度随雷诺数增加不是严格意义上的单调递减,在雷诺数约为1600左右时出现了一极值点;液体粘度增加会使最大尺度强度相应增加而鼓泡口直径主要影响高雷诺数下的最大尺度强度。     

燃烧炉火焰检测探头的改造

通过材料选择和装配工艺设计,探索并实现了发电厂燃烧炉用的火焰检测探头的国产化改造的可行性。     

薄膜磁阻效应计算机控制自动测试

采用单片机8031模拟三角色波输出而产生超低频扫场电源，克服阻容元件线差波形不稳定，用8位单位片机与16位数模板转换器进行接口，给出了控制系统，D／A转换，恒流和功率驱动电路以及软件设计，以四探针，六探针法测量，实现对薄膜磁阻效应的自动测试。     

水平管内气液两相泡状流的紊流结构

用热膜探针对内径为35mm的水平管内泡状流中的紊流结构进行了测量，发现在管道下部非常低的局部含气率处，紊流脉动速度和紊流强度与单相液流时的相应值类似，而在管道上部的高含气处，气泡的出现极大地增强了脉动和紊流强度，局部的紊流强度是局部含气率的强函数，靠近管中心稍偏上的区域在一定的参数范围内，相应于较高气流折算速度的紊流脉动和紊流强度低于气流折算速度的相应值，紊流强分布规律从铅垂方向到水平方向随测量角增大击趋于对称。     

磁性荧光复合粒子的合成、表征及DNA检测应用研究

以NaOH作为沉淀剂,在水相中合成了直径约为10nm的Fe3O4磁性纳米粒子,以Fe3O4为核层原料以CdTe量子点为壳层原料合成了Fe3O4／CdTe磁性荧光复合粒子。合成的Fe3O4／CdTe磁性荧光复合粒子经测试具有良好的磁性核荧光性能。以Fe3O4／CdTe作为能量供体3,端修饰有淬灭剂BHQ-2的单链DNA作为能量受体合成分子灯塔探针,成功构建了荧光共振能量转移体系,所合成的探针可利用磁铁与游离的5,-DNA-3．-BHQ-2进行快速分离。该探针在和与探针DNA序列完全互补的目标弓形虫DNA杂交后,荧光强度得到了恢复,实现了对弓形虫DNA的高灵敏度检测。     

实验技术在工程中的推广与应用

本文就标准贯入实验的用途及影响实验的因素进行了系统的分析,运用标准惯入实验定量了地基承载力标准值,为地基基础的设计与施工提供了强有力的依据。     

α状态离子渗氮层中的氮化物形貌和元素分布

利用离子探针,电子探针等现代测试手段,研究了40Cr,35CrMo和38CrMoAlA钢分别经离子氮化和气体氮化处理后的试样离子氮化层中的氮化物形貌和元素氮、碳、铬、钼、铝的分布,为深入研究α状态渗氮层组织结构与磨损机理,提供了一定的理论依据;同时也为新的氮化钢种的研制和氮化工艺的选择与控制提供了重要信息。     

烧结过程铁酸钙的生成速度

试验研究表明,铁矿石烧结过程中铁酸钙生成速度主要由反应温度所决定。一般情况下,铁酸钙生成量随时间的增长和温度的升高而增多。在模拟鞍钢原料有 SiO_2等组分条件下,铁酸钙生成量在高温烧结后期有所下降。通过试验得出在不同条件下的铁酸钙生成量和烧结时间的定量关系。烧结料配碳量增加,铁酸钙生成量减少。     

适合于五孔探针测量的集平均技术

本文提出了适合于五孔探针测量的周期多点采样方法和周期平均采样方法,开发了一套数据自动采集和实时处理系统,并用之于离心风机叶轮进出口流场的测量。文中还给出了测量实例,验证了本方法和测试系统的可行性。