压印光刻中高精度莫尔对准方法的研究

针对分步压印光刻工艺中多层套刻的高精度对准问题,提出一种应用斜纹结构光栅副实现x、y、θ三自由度自动对准的方法.光栅副分为4个区域,应用光电转换器阵列检测光栅副相对移动所引起的莫尔信号变化,通过电路系统处理可同时得到在平面x、y、θ三自由度的对准信号.驱动环节采用直线电机和压电驱动器作为宏微两级驱动,其分辨率分别为0.2μm和0.1nm,在激光干涉仪全程监测下,与控制系统一起构成闭环系统实现自动对准定位.实验结果表明,在多层压印光刻工艺中,实现了压印工作台步进精度小于10nm的高精度定位要求,使整个对准系统的套刻精度小于30nm.因此,应用这种莫尔对准方法可以获得较高的对准精度,同时能够满足压印100nm特征尺寸套刻精度的要求.     

自主车辆视觉系统的摄像机动态自标定算法

为了解决自主车辆视觉传感器在姿态变化后摄像机旋转外参数的在线自标定问题,提出了一种利用道路图像消失点相对不变量的摄像机旋转外参数的动态自标定算法.它首先从汽车采集到的道路视频序列中实时分析道路消失点,然后依据中心极限定理并使用相应的统计量,动态地估计主消失点与消失线参数,最后利用小孔成像模型下的消失线与消失点方程,解析地求得对应于当前统计特征的摄像机外部参数动态解.实验结果表明,在摄像机进行姿态调整后,实验系统使用本算法可在不超过90帧有效图像样本的基础上,能对摄像机旋转外参数进行精确标定,使旋转外参数的绝对误差值收敛于0.001 rad的误差带之内.     

三维云纹干涉法在PMMA材料特性分析中的应用

对云纹干涉法的原理、方法及实验系统进行了简要介绍,并利用三维云纹干涉仪实时测量了有机玻璃(PMMA)在三点弯曲时的三维位移场。对变形三维云纹图进行了分析,得出了三维应变分布图。     

数字光栅测振传感器性能分析与测试

为完善光栅测振传感器的性能,将光栅莫尔条纹技术应用到振动测量,在完成光栅测振传感器原理性实验的基础上,进行了理论分析,并就其特性进行了实验研究.通过构建高精度光栅传感器测试系统,对传感器的静动态特性进行深入研究,并建立了动态模型.实验证明,光栅测振传感器分辨力可达0.025μm,动态频率误差小于1.5%,振幅误差小于3.8%.     

新型机器人六维力传感器的测量电路

针对机器人腕部及手指所受空间六维力／力矩的测量，介绍了一种新型基于Stewart并联结构的六维力传感器，主要研究该传感器的测量电路，并对电桥电压灵敏度及温度补偿方法作了详细研究。     

智能建筑的温度测试系统

随着智能建筑数量增加和功能提高，智能建筑逐渐走进人们的生活。本文介绍智能建筑的构成和由DS1820构成的单线多点的自动测试系统的硬件结构和软件流程。     

基于DS18B20的矿用温度传感器

为了满足矿井测温的实际需要，应用数字式温度传感器DS18820和AT89C51单片机，开发了一种矿用实时温度检测系统。该系统采用红外线遥控调校技术，可实现仪器自动校零、报警值界限设定等的遥控操作，提高了整机的密封性和安全性。实践表明，该系统测量数据精确、简单实用、维护方便，满足矿井温度检测的实际要求。     

基于CAN总线的超声波安防系统

智能化安防技术随着科学技术的发展，已迈入了一个全新的领域．安防技术正在朝数字化、网络化、智能化、民用化大步迈进．该文介绍了一种利用80c51单片机、SJA1000CAN总线控制器和超声波探测模块实现对楼宇的网络化安防监控的系统．该系统通过对多个监控点进行实际测试，对非法入侵能进行实时、可靠和正确无误的报警，而且系统成本较为低廉。     

航空发动机智能容错数字控制

研究航空发动机智能容错控制方案，使控制系统在传感器故障时正常工作，执行机构故障时安全工作．在自联想网络的特征提取以及过滤噪声和故障能力的基础上，提出自联想网络的最优估计、轴向故障征兆和三级阈值的综合逻辑以区分软故障和发动机性能蜕化、安装制造公差等引起的不确定性．仿真结果表明，这种方法不需要发动机数学模型，对不确定性鲁棒性好．     

多传感器信息综合技术的飞行试验研究

研究了将多传感器容错控制和信息融合技术应用于无人直升机的自主飞行控制．基于飞行导航控制的先验知识，对DGPS、磁航向计、大气数据计算机等飞行导航传感器获取的飞行状态信息进行综合处理，实现了组合导航控制．通过飞行试验表明，多传感器的信息综合技术能够保证飞行控制系统工作的可靠性，实现超视距、高精确度自主飞行控制．