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用椭圆偏振仪测量了O^ 2注入Si后的椭偏参数Φ和△。给出了离子注入辐射损伤与注入剂量和注入能量的关系,同时,对离子注入片在N2气氛中进行等时热退火,测量了Φ和△,给出了O^ 2注入Si的退火特性,结果表明:O^ 2注入Si的退火特性曲线,对不同的注入剂量和注入能量分别为“V”形和“W”形,对此结果,我们进行了初步地分析和讨论。 相似文献
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企业业务流程的连贯性及业务范围的扩大,对企业的信息系统提出了企业内部/间系统协作的需求,然而信息孤岛和冗余似乎貂打破了企业构造协同工作/商务的梦想.于是,EAl作为一种解决方案成为企业信息化过程中的新宠.那么,是否任何拥有信息系统的企业都需要实施EAI?如果需要EAI,实施到什么程度最优?从定性和定量两方面对企业是否需要实施EAI进行了分析,并应用数学模型求解了最佳集成度,希望给企业实施EAl的决策提供一点思路. 相似文献
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