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101.
金刚石和立方氮化硼薄膜由于其优异的性能已经获得了实际应用. 该类薄膜的特定取向对其在光学和微电子学领域的应用有特殊意义. 用固体与分子经验电子理论(EET)计算了衬底硅不同晶面与金刚石和立方氮化硼薄膜不同晶面的相对电子密度差, 从计算结果分析认为, 对所研究的薄膜, 薄膜与基底界面的电子密度差越小, 薄膜在热力学上越稳定, 界面的电子密度差是决定薄膜织构或外延取向的本质原因. 这些推断与实验事实符合得很好. 该计算方法和理论不仅为探讨金刚石和立方氮化硼在硅单晶表面上的薄膜生长机制提供了一个新视角, 还可能为其他薄膜取向的预测提供指导. 相似文献
102.
金刚石表面化学镀NiFeB及其在胎体中综合状态的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
对比分析了化学镀NiFeB,真空镀金刚石与胎体的结合界面,结果表明:化学镀NiFeB金刚石在胎体中仍以机械包镶为主,真空镀Ti-Cr金刚石在胎体中实现了化学键合,金刚石形成的炭化物中的碳直接来自于金刚石本身,界面结合强度高。 相似文献
103.
基片温度对直流电弧等离子体喷射沉积金刚石膜的影响 总被引:4,自引:1,他引:3
研究直流电弧等离子体喷射比化学气相沉积金刚石系统中,基片温度对金刚石膜生长速率和质量的影响。实验发现,金刚石膜的生长速率和结晶性随基片温度的增加而境调增加。 相似文献
104.
同轴度是影响内燃机气缸盖、气门与座圈工作性能的关键技术要求。本文提出以镗铰工艺取代传统的扩铰工艺来进行导管孔和座圈孔的精加工 ,改进了复合铰刀的结构 ,主轴采用内滚结构 ,从而提高了刀具的刚性及可靠性 ,并保证了零件加工精度的要求。 相似文献
105.
利用扫描电子显微镜镜研究了热灯丝CVD系统负衬底偏压增强金刚石核化的过程,给出了实验结果。着重分析了负衬底偏压增强金刚石核化的机制。 相似文献
106.
107.
采用中频反应磁控溅射方法,在不同溅射沉积功率下,在单晶Si基片上沉积了a-C∶H薄膜.研究了不同沉积功率对a-C∶H薄膜的形貌、硬度、弹性的影响,并用Raman和FITR分析了引起a-C∶H薄膜形貌和力学性能变化的原因.结果表明,沉积功率对薄膜的形貌、硬度和弹性都有很大的影响,在功率为140 W时沉积的a-C∶H薄膜表面致密,具有最大的硬度和弹性模量. 相似文献
108.
109.
从工厂生产加工中纪录的一组数据表明金刚石铰孔在生产实践中是一种先进可行的新工艺。突出说明了该工艺用于液压阀体主孔批量加工中的优越性 ,并根据生产加工中的实际情况提出了几点采用此工艺所必须注意的事项 相似文献
110.