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101.
基片温度对直流电弧等离子体喷射沉积金刚石膜的影响 总被引:4,自引:1,他引:3
研究直流电弧等离子体喷射比化学气相沉积金刚石系统中,基片温度对金刚石膜生长速率和质量的影响。实验发现,金刚石膜的生长速率和结晶性随基片温度的增加而境调增加。 相似文献
102.
罗廷礼 《河北省科学院学报》2011,28(4):10-15
对高功率直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石膜中的黑色层状缺陷进行了研究。沉积过程中通过改变沉积速率;适量加氧、加水、加氮;采用高纯气体;调整漏气率;多台设备并联运行;单台设备反复运行和交换零部件多种手段,均未找到其成因。中对用黑厚时位式新理念的研究作了报导。证实夹层成因和膜制备过程中的上述因素间无密切关系。 相似文献
103.
利用扫描电子显微镜镜研究了热灯丝CVD系统负衬底偏压增强金刚石核化的过程,给出了实验结果。着重分析了负衬底偏压增强金刚石核化的机制。 相似文献
104.
106.
文章综合国内外钎焊金刚石工具的研究成果,对比几种典型金刚石工具容屑空间和磨粒有序排布对工具性能的影响,总结了国内外金属结合剂金刚石工具磨粒有序排布的研究成果,介绍了当前金刚石磨粒有序排布常用的几种方法,原理及其优缺点。 相似文献
107.
采用中频反应磁控溅射方法,在不同溅射沉积功率下,在单晶Si基片上沉积了a-C∶H薄膜.研究了不同沉积功率对a-C∶H薄膜的形貌、硬度、弹性的影响,并用Raman和FITR分析了引起a-C∶H薄膜形貌和力学性能变化的原因.结果表明,沉积功率对薄膜的形貌、硬度和弹性都有很大的影响,在功率为140 W时沉积的a-C∶H薄膜表面致密,具有最大的硬度和弹性模量. 相似文献
108.
蛋白银电流变流的制备及ER效应 总被引:1,自引:0,他引:1
用反相微乳法成功地合成了蛋白银超微细粒子,并首次研究了蛋白银超微细粒子分散于绝缘油中所形成的电流变液的结构,稳定性,静态屈服应力和漏电流,了影响这些参数的因素,指出蛋白银电流变液在较低的电场下,具有较大的静态屈服应力,其漏电流密度小,且J∝aE^b。 相似文献
109.
110.
根据用途不同,超微颗粒通常定义为微米级或者纳米级颗粒。如同级高的活性一样,在科学和技术的发展中,超微颗粒同样具有很强的交叉和穿透能力。例如,超微颗粒制备技术已经带来了一列系科学新概念,如“机械方法学”,“超微颗粒断裂力学”,“机械合金化”和“机械化学”,等等。在应用领域内,表面效应和小尺寸效应等课题吸引着越来越多的科技工作者。超微颗 粒不但给工程技术,而且给科学本身带来了众多的机遇和挑战。因限于篇 相似文献