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171.
深度紫外光刻图形精度模拟研究 总被引:3,自引:0,他引:3
田扬超 《安徽师范大学学报(自然科学版)》2005,28(3):253-257
UV-LIGA技术是制作大高宽比微电子机械(MEMS)的方法之一,而UV-LIGA技术的关键工艺之一为深度紫外光刻.由于紫外光衍射效应影响紫外光刻的微结构图形精度.本文主要研究了衍射效应对深紫外光刻精度的影响,并与实验结果进行了比较,理论模拟结果和实验比较吻合.因此,可以通过模拟结果得到不同厚度光刻胶的最佳曝光剂量,以便得到高质量的微结构图形. 相似文献
172.
合成了一系列组成为TbxY1-x(BA)3phen(x=0.1~1.0)的固体配合物,并测得了各固体配合物的激发发射光谱,就配合物中金属组成与荧光强度的关系进行了讨论.结果表明:不发光的Y^3 对Tb^3 的发光有较强的敏化作用. 相似文献
173.
174.
从实验的角度出发,对菲涅耳双棱镜棱脊面向单缝和背向单缝两种置放方式进行实验探究,通过对多次实验数据的分析、对比,得出只有当两次实验中的狭缝到菲涅耳双棱镜的距离L相同时实验结果在误差允许的范围内是相同的。 相似文献
175.
自1678年惠更斯提出惠更斯原理,菲涅耳、基尔霍夫、索末菲等都对这一原理作出了改进和完善,体现了科学研究中从定性、半定量再到定量的逐步精确化的发展历程。为了准确理解惠更斯一菲涅耳原理,也为了认识和掌握科学发展的客观规律,有必要对惠更斯原理的发展历程作比较深入的认识,文章对此作了尝试。 相似文献
176.
在物理学研究中,需要计算一些特殊实积分,这些积分按实积分计算比较麻烦,有些甚至不可能,但化为复积分,运用柯西积分定理及留数定理来计算简捷方便.给出了用复积分计算物理学中狄利克雷积分、菲涅耳积分、欧拉积分及开普勒积分等几种特殊实积分的方法. 相似文献
177.
主动方式产生近似无衍射光束的新技术 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍几种主动式产生近似无衍射光的方法,并用谐振腔理论进行分析和模拟.可以发现,利用轴棱锥设计的谐振腔具有结构简单、转换效率高等特点;而采用腔内振幅滤波的谐振腔,则不需要复杂的光学元件和特别的准直技术;用LD泵浦的Nd∶YAG激光器输出近似无衍射光,可以有效地提高泵浦光效率和激光输出能量. 相似文献
178.
微量邻菲罗啉在室温和非除氧条件下能显著显猝灭脱氧胆酸钠(NaDc)-溴代菲(BrP)体系的磷光强度。本文利用动态液滴磷光技术建立了测量邻菲罗啉的新方法。方法的线性范围为4.0×10^-7mol/L-4.0×10^-3mol/L,检出限为0.031mg/mL。 相似文献
179.
根据菲涅耳公式推导了薄膜干涉模型中两光线不同分量的反射系数,并表示成直观的曲线图;利用曲线图分析了薄膜反射干涉时的额外光程差问题,讨论了不同折射率分布对干涉条纹对比度的影响.该方法有利于学生对额外光程差现象及产生额外光程差的条件的理解. 相似文献
180.