非平衡等离子体化学研究现状与进展

现在人们研究的非平衡等离子体大多是在低气压（1.33 Pa～1.33 kPa）、低质量流量条件下,由射频（13.5 MHz）、微波（2450 MHz）以及交、直流高电压激发的辉光放电产生的,作为一种直接向反应体系施加能量的方法,已在等离子体化学合成与分解、溅射制膜、气相淀积、聚合与引发聚合、材料表面改性、沉积刻蚀和低温灰化等方面应用,取得了引人瞩目的应用效果.Maezono等人[1]在压力为0.08 kPa,Ar作     

DBD等离子体及其应用技术的发展

采用介质阻挡放电方法可以在高气压条件下获得低温非平衡等离子体 .它可以应用于等离子体化学、紫外光源、环境工程、高功率CO2 气体激光器等许多领域 .本文将对DBD等离子体的历史发展概况、基本特性、应用领域及现状、存在问题与发展趋势进行简要的介绍     

多晶硅太阳电池的有效等离子体氢钝化

文章报道了一种用于多晶硅太阳电池氢纯化的简单试验装置，等离子体氢是通过辉光放电方法产生。三类完成电极制作的多晶硅太阳电池用于氢纯化试验，伏安特性测试结果表明，经过等离子体氢纯化后的太阳电池性能都有所提高，电池的光电转换效率相对改善高达10.6%。     

产生臭氧等离子体过程的理论基础研究

介绍了介质阻挡强电离放电非平衡等离子体合成臭氧的理论基础，强调放电间隙中的电场强度对氧分子的分解，电离以及臭氧分子的生成， 发解影响很大，当折合电场强度达到400－500Td时，氧分子分解，电离率大幅度提高，臭氧的再分解率大幅度降低，有利于高效率产生高浓度 臭氧。     

非线性尘埃-漂移波的复杂结构

采用流体模型，研究尘运行等离子体中的非线性尘埃－漂移波。极低频的尘埃－静电漂移波，通过非线性互相作用，形成局域的涡旋结构。研究发现，涡旋强度与等离子体中尘埃含量和离子－电子温度比有密切的关系。等离子体中形成的大量涡旋横越磁场运动，导致了等离子体的反常输运。     

用蒙特—卡罗模型模拟铪等离子体光谱

阐述了中间耦合情况下的Monte-Carlo理论模型。在局域热动平衡条件下，用Monte-Carlo模型模拟Hf等离子体复杂光谱的部分光谱；类锆铪的光谱，其主要方法是：由未分辩跃迁阵（UTA）方法计算出类锆铪等离子体的4d^4-4d^35p束缚束缚跃迁阵的谱线数目，从高斯分布中随机确定每条谱线的能量，再根据完全中间耦合时能量与强度的关系琰确定每条谱线的强度，从而模拟未分辨跃迁阵Hf^32 4d^4-4d^35p的光谱线。     

电弧等离子体喷射法直接制备金属有机聚合物

金属有机聚合物一般通过金属有机化合物单体聚合来制备,但由于单体制备困难、性能不稳定,其发展受到限制.本文提出了用低压直流电弧等离子喷射法将有机单体和金属直接合成金属有机聚合物薄膜的方法,成功地制备了铜与丙烯腈、丙炔腈的金属有机聚合物薄膜.红外光谱和电子能谱的分析结果表明:聚合物薄膜中含有环状共轭结构,铜与聚合物以共价键、配位键结合.用改进的四探针法进行测量,铜与丙炔腈聚合物薄膜的电阻率在10~0～10~3Ω·cm范围内,铜与丙烯腈聚合物薄膜的电阻率在10~6～10~7Ω·cm范围内。     

低温等离子体化学及其进展

等离子体,是物质存在的第四态。物质被电离后,其中电子和正离子密度几乎相等,故称之为等离子体。在浩瀚的宇宙中,以等离子体状态存在的物质占90％以上,如各类恒星、星际空间,包覆在地球表面的电离层等等,均是以物质第四态存在着。在我们这个得天独厚的地球上,等离子体的存在就颇为稀罕,如难得见到的极光、闪电等。以人工方法可获得等离子体,如以光、X射线或γ射线的辐照,产生较低电荷密度的电离,也可从直流到微波频率的放电生成不同的等离子体,其他如冲击波,激光辐照、燃烧等等,都可产生各种     

微波ECR等离子体溅射沉积T_t薄膜的结构研究

用电子回旋共振(ECR)等离子体溅射方法在室温基片上沉积出的T_i薄膜的结构是用X RD和TEM进行分析的。结果表明所沉积的T_i薄膜是平均粒径,晶粒尺寸分布很窄的稳定fcc结构。在实验过程中发现可以通过对工作参数的调整控制薄膜的晶粒尺寸。我们还讨论了ECR等离子体对薄膜结构和晶粒尺寸的影响。