微波ECR等离子体溅射沉积T_t薄膜的结构研究

用电子回旋共振(ECR)等离子体溅射方法在室温基片上沉积出的T_i薄膜的结构是用X RD和TEM进行分析的。结果表明所沉积的T_i薄膜是平均粒径,晶粒尺寸分布很窄的稳定fcc结构。在实验过程中发现可以通过对工作参数的调整控制薄膜的晶粒尺寸。我们还讨论了ECR等离子体对薄膜结构和晶粒尺寸的影响。     

硬质合金表面离子注入层的强化机理研究

将75keV氮离子注入到WC—8％c_0硬质合金表面形成注入强化层,使硬质合金表面硬度和动摩擦特性均得到明显改善。用TRIM算法计算了注入后的氮离子浓度分布和辐照损伤分布。X衍射实验表明,注入后形成了间隙固溶体,析出δ—WN第二相,并使晶粒细化。因溶强化、分散强化、细晶强化是使注入后硬质合金表面性能得到改善的主要原因。     

微波等离子体炬原子发射光谱法测汞的评价

本文采用超声雾化进样,以水冷凝和浓硫酸吸收结合去溶,以常压低功率Ar微波等离子体炬为激发源研究了汞的测定,讨论了各种实验条件对汞发射强度的影响,给出了方法的检出限、精密度和线性范围,并将其用于实际样品和标准样品分析,结果令人满意。     

等离子体镀光学薄膜的数学模型

从电离气体等离子体的基本性质入手,分析了处于等离子体中的基片表面鞘层及基片悬浮电位的形成,计算了正离子进入势垒到达基片的条件、基片的悬浮电位、到达基片的正离子流的密度,以及入射基片的正离子的能量,从而建立起等离子体镀光学膜的数学模型。     

准分子激光诱导等离子体中镁原子及离子发射光谱…

本文报道了用准分子３０８ｍｍ激光烧蚀固体镁靶产生的低温微等离子体。用光学多道分析仪测量了等离子体中镁原子及离子的发射光谱线的Ｓｔａｒｋ展宽与延时及缓冲气体压力之间的关系，由此讨论了激光等离子体的电子密度随时间演化的特性及缓冲气体压力对激光等离子体特性的影响。     

太阳风中非线性离子波研究的解析方法I

本文从ＭＨＤ方程组出发，推导了太阳风磁化等离子体中非线性静电离子声波孤立子传播的非线控制方程，从而得到了扰动位势的解析解。讨论了各种等离子体参数情况下孤立子形成的条件。     

微波放电等离子体性能研究

利用自行设计建立的微波放电实验系统，运用静电双探针对产生的等离子体进行了测试，得承均匀磁场中微波输入功率、气体压强、气体种类等条件对等离子体参数及其分布的影响，并对实验结果答了简要分析。     

激光作用Y—M—Cu—O（M=Ba,Sr,Ca,Mg）金属复氧…

在自制的仪器上，以脉冲激光束在高真空中直接溅射钇钡铜氧高温超导材料，可以产生３个系列的氧化物簇离子，将该复氧化物中的钡以其他碱土金属元素锶、钙、镁等替换，由此产生的簇离子的种类与组分也随之不同。本文通过分析这些氧化物簇离子的组成，离子相对信号强度及其与样品组分的关联，探讨了这些金属复氧化物中各组分元素间的相互作用及其对超导性能的影响。     

室温基底溅射沉积c轴取向ZnO薄膜

c轴取向氧化锌(ZnO)薄膜具有较强的压电和压光效应,常常用于声电、声光装置。在体声波(BAW)方面,如用于超声显微镜和薄膜谐振器等;在声表面波(SAW)方面,作为一种传输和相干材枓,它用作滤波器、卷积器、放大器、图象扫描以及谐振器;在导向光波(GOW)中,ZnO薄膜也广泛应用于声光和电光装置和二次谐波发生器等。