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111.
研究了O2/C4F8等离子体刻蚀SiCOH低k薄膜时O2流量对刻蚀率、表面结构的影响,及其放电等离子体特性的关联.发现O2流量的增大可以极大地提高多孔SiCOH薄膜的刻蚀速率,降低表面的粗糙度,减少SiCOH薄膜表面的C:F沉积.等离子体特性的光谱分析表明,O2的添加,增强了C与O之间的反应,从而在Si、F反应刻蚀Si的同时,C、O之间的反应使C消耗,实现Si、C的同步刻蚀,从而获得SiCOH低k薄膜的高刻蚀率和低粗糙度表面. 相似文献
112.
113.
李森 《山西大学学报(自然科学版)》2011,(3):406-408
利用齐次平衡原则及修正的双曲函数展开方法,求出了耦合Schrdinger-KdV方程组的一些行波解. 相似文献
114.
针对我国城乡建设高质量发展的现实需求,提出前策划后评估融合信息科学、数据技术新方法的智能化方法研究方向.综述国内外相关研究成果和趋势,理清大型建筑工程的建筑策划需要针对不确定性问题,研发有力的科学决策工具;智能化工具在设计决策中的应用不仅体现在AI辅助设计,更应该向智能策划扩展;关注建筑全寿期中前策划后评估的作用,为全面实现智慧运维提供基础.提出针对复杂建筑策划尚无有效的智能化决策工具的问题,构建智能策划复杂决策理论体系;针对建筑使用后评估的空间绩效与人体感知数据缺乏关联、感知数据获取难的问题,研发使用后评估主客观数据间耦合技术;针对设计与数据转换机制不明确、全寿期设计无衔接的问题,研发建筑全寿期智慧化整合设计工具和方法;针对前策划与后评估内在映射机制不明确的问题,研发贯穿前策划-后评估的智慧管控与全寿期前馈推演技术;针对设计任务制定依赖经验,特征与分类不清晰的问题,研发建筑工程前策划-后评估智能技术集成示范应用技术. 相似文献
115.
基于纳米结构的二次谐波发射是构建高灵敏度生化传感器等纳光子器件的重要手段,其中如何获得增强的二次谐波发射是实现这些应用的关键.本文采用溶剂热法制备出类钻石的十二面体铌酸锂纳米晶体颗粒,实现了磁偶极共振模式的有效激发.基于磁偶极共振对入射场能量的聚焦作用,以及铌酸锂材料本身所具有的较强二阶非线性响应,所制备铌酸锂纳米晶体颗粒能够实现二次谐波的增强发射.不同粒径铌酸锂颗粒散射光谱及二次谐波发射光谱的测试结果表明,当激发光波长与纳米颗粒的磁偶极共振模式匹配时,可有效增强二次谐波发射强度,其非线性转换效率达到2.0×10-6W-1.这些研究结果表明本文所制备的铌酸锂纳米晶体颗粒是一种较为理想的非线性纳米材料,在非线性纳光子器件的设计等领域具有潜在的应用价值. 相似文献
116.
古高度重建为地质模型的建立提供了重要的制约条件,而古地温的恢复在古高度重建中至关重要.基于均质(或同相)同位素交换平衡的碳酸盐耦合同位素温度计(Δ_(47)温度计)相比于传统的古温度计具有两个显著的优点:(1)其测量的参数Δ_(47)仅仅与碳酸盐的形成温度相关而不受环境水中δ18O值影响;(2)Δ_(47)的精度能够达到0.010‰,换算到相应的碳酸盐形成温度可优于±2°C.随着碳酸盐耦合同位素温度计的实验方法的发展,实现了利用该温度计精确重建古高度.本文通过总结全球碳酸盐耦合同位素温度计应用于古高度重建中的实例,进一步解析该温度计在区域抬升历史的恢复以及构建动力学模型中的应用前景. 相似文献
117.
盖层受沉积、构造、成岩、地貌等多种因素的影响,往往夹带发育砂体,这些砂体严重影响着盖层的封闭能力。以国内某储气库为背景,基于对盖层中随机砂体的认识,分别建立了考虑盖层岩石非均质性、砂体的空间位置、砂体渗透系数以及砂体间间距的4种概念计算模型。以Comsol软件为平台,采用渗流-应力耦合模型研究地下储气库非均质盖层渗漏通道形成机制。经过一系列模拟计算,研究结果表明:砂体体积占盖层体积比例较低的情况下,盖层中随机分布的砂体仍然会形成流体的渗漏通道;当砂体渗透性越好时,盖层中越易形成流体的渗漏通道;随着盖层中砂体之间距离越大,流体在砂体间的渗流阻力越大,越不利于渗漏通道的形成。综合分析可知对盖层的封闭性评价时,必须同时考虑盖层岩石微观和宏观上的岩石分布特征。 相似文献
118.
为了解决OFDM(orthogonal frequency division multiplexing)传输系统中接收端对微弱OFDM信号的检测问题,本文将双稳阱内随机共振系统与OFDM信号增强和解调过程相结合,推导了多载波信号激励下双稳阱内随机共振系统从零状态变化到势阱状态所需时间的解析表达式,分析了暂态响应导致的多载波信号在一个符号内的能量损失问题;推导了系统稳态输出方程,分析了稳态过程对子载波已调信号叠加直流偏置分量的问题;探讨了在不同系统参数和噪声强度下阱内随机共振对OFDM信号解调性能的影响。仿真结果表明:该方法可有效实现信号与噪声阱内协同作用,提高OFDM信号的检测性能。 相似文献
119.
采用三维有限元与电路相结合的“场路结合”数值计算方法来分析特高压 GIS避雷器电位分布特性. 通过对多种方案的比较分析表明, 最有效的改善电位分布的方法是提高ZnO压敏电阻的电压梯度. 综合多方面因素, 合适的压敏电阻电压梯度为426 V/mm, 此时1000 kV GIS的电位分布不均匀度可控制在 10%以内. 研究结果为高梯度压敏电阻的研制提供了基本的技术指标. 相似文献
120.
为了研究非对称应力作用下干热岩双井筒模型的水力压裂裂缝扩展机理,建立了描述岩体细观结构的热流固耦合损伤模型,然后使用有限元方法开展了数值模拟研究.研究结果表明:当最大地应力方向垂直于双井筒连线方向且基岩温度较低时,裂缝首先沿着最大地应力方向发展,随着基岩温度的升高,岩体损伤区域的面积随之增大,产生的裂缝网络范围也随之增大,且裂缝在两个井筒的缝网交汇处更容易扩展.当最大地应力方向平行于双井筒连线方向且注水压力较低时,裂缝同样首先沿着最大地应力方向发展,随着注水压力的增大,裂缝在双井筒内侧交汇,内侧交汇区的裂缝扩展范围明显大于双井筒外侧. 相似文献