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微细加工技术是MEMS技术的核心技术,本文详细介绍了常用的MEMS三维加工工艺、应用现状和发展趋势,并提出了目前这些方法中存在的缺陷。 相似文献
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田敬民 《西安理工大学学报》1994,10(2):105-110
多孔硅是晶体硅片在氢氟酸溶液中进行阳极氧化,在硅衬底上形成多孔态的硅材料。本文介绍了多孔硅的形成和结构形貌,对其光学性质和发光机制进行了扼要讨论,并介绍了当前多孔硅研究中的一些热点问题。 相似文献
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研制出用于制备空间硅太阳电池上电极的小功率脉冲电镀仪,该电镀仪脉冲电流的频率和占空比具有较宽的调节范围,满足高效率硅太阳电池脉冲电镀的要求,与国内,外普遍采用的真空蒸镀硅太阳电池上电极相比较,脉冲电镀可以制备更窄的栅指电极,电池上电极的遮光损失从7% ̄9%降低到3%。 相似文献
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在难熔金属热电偶表而施加涂层的目的,旨在使原仅限和真空、中性及还原气氛中测量的热电偶能在大气中使用.本文讨论涂层对难熔金属热电偶在氧化气氛的"热电势—温度","热电势—时间"的关系及其寿命的影响.具有涂层的W/M.热电偶在氧化气氛(常压下1500℃取得263小时±1%t的最高记录,而W-Re热电偶存1500℃试验的前70小时偏差也在1%t内.而没有涂层的热电偶仅支持数分钟便破坏. 相似文献
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对硅光探测器在紫外光波段的量子增益过程进行了分析,考虑到碰撞粒子的相对运动及终态的态密度分布,计算了增益谱,制作了紫外性能良好的硅光电二极管,测量了紫外谱响应,对实验测量与理论计算进行了比较,结果基本一致。 相似文献
19.
富钾硅复合物对水稻土中有效K,Si,Ca,Mg的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
郭碧花 《西华师范大学学报(哲学社会科学版)》2005,26(1):52-54
富钾硅复合物为绿豆岩煅烧产物,本文通过盆栽对比实验研究它对水稻土中有效K,Si,Ca,Mg的影响,结果表明:水稻土中施入K,Si,Ca,Mg后,被水稻带走部分养分,土壤养分仍有变化;尽管富钾硅复合物中的K,Si,Ca,Mg多为枸溶性养分,但均能供给水稻生长发育需要,并具有一定后效. 相似文献
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以0.1mol·dm-3的Zn(NO3)2水溶液为电解质溶液,以99.9%Zn片作阳极,采用方波脉冲电流法在氧化锡铟(ITO)导电玻璃基底上阴极电沉积,得到了透明的ZnO薄膜.采用X射线衍射分析、扫描电镜和荧光光谱技术,测试了薄膜的结构、表面形貌和光学特性.用同样方法在多孔硅衬底上电沉积ZnO薄膜,经过1000℃氧气氛下热处理1h,在紫外光照射下可发射强绿色荧光. 相似文献