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991.
992.
993.
纳米压印光刻(Nano Imprint Lithography,NIL)是面向45nm以下半导体制造工艺下一代光刻技术的主流之一。基于紫外纳米压印光刻是一种在常温和常压下使用的光刻技术,是非常有希望成为未来光刻技术的主流工业技术。多层纳米压印套印对准技术是基于常温紫外纳米压印设备的核心关键技术,该技术是制约紫外纳米压印光刻技术,广泛应用于半导体制造并促其成为主流光刻技术的瓶颈。将并联机构引入纳米压印装备的研制之中,进一步提升纳米压印设备中掩模台和工件台之间的对准精度和定位精度。 相似文献
994.
王晓瑛 《西北大学学报(自然科学版)》2001,31(1):9-10
借助一种变分方法,研究了单叶调和映射上具有Frechet可微泛函的极值问题,得到极值函数的必要条件。 相似文献
995.
高备军 《中国新技术新产品精选》2009,(20):172-172
渗漏问题是一种玻璃幕墙常见通病,本人的根据幕墙多年施工实际经验首先分析了幕墙产生雨水渗漏的原因以及抗渗漏的原理和方法,阐述了玻璃幕墙施,工准备阶段、施工阶段应注意的问题,通过采取以上措施的,能有效的防治玻璃幕墙渗漏现象的发生。 相似文献
996.
采用保角变换的方法,研究了有金属底板的非对称共面波导的特性及场图的计算方法,给出了此种微波传输线的有效介电常数,特性阻抗和电场强度表示式,并绘制了场图。 相似文献
997.
本文介绍广东省粤泷发电有限责任公司#1锅炉采用微油冷炉点火和超低负荷稳燃技术后的使用情况和节能效果。#1炉机组大修启动过程中使用微油冷炉技术,在机组开停机及调峰时节能效果明显。该技术在广东省粤泷发电有限责任公司取得成功,为电厂燃用劣质无烟煤进行微油燃烧器改造和超低负荷稳燃提供了可靠的参考依据。 相似文献
998.
999.
采用低比表面,大孔结构的Ni/α-Al2O3催化剂,进行了动力学研究,确定了稀释固体,研究确定:在973K和1023K下、总流速为20-30mL/min时,甲烷、二氧化碳的转化率基本上不随流速的改变而发生变化,而在1073K、总线流速为30-40mL/min、镍基催化剂的粒径为0.154-0.200mm时,甲烷、二氧化碳的转化率基本上不随线流速的改变而发生变化,能够消除外扩散的影响。 相似文献
1000.
运用扫描电镜对中国产的落叶松属8个种和9个不同种源的兴安落叶松种皮微形态进行了观察。结果表明,种子的背面纹饰、腹面纹饰和种孔周围纹饰截然不同。该属内两个组的种皮纹饰存在明显差异。在红杉组内,太白落叶松、红杉和怒江落叶松背、腹和种子周围纹饰均存在不同。在落叶松组内,除了新疆落叶松外,其余种之间纹饰特征差异较小,特别是兴安落叶松、长白落叶松和华北落叶松之间差异更小。种皮纹饰特征在兴安落叶松种内基本上是稳定的,其中,背面纹饰变异幡度最小,腹面纹饰次之,种孔周纹饰变异幅度最大。 相似文献