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模拟和验证了一种低成本的,以标准CMOS工艺为基础,无需对原工艺流程进行改动的高压工艺技术。讨论了低压器件中的各种击穿机理,相应提出了高压器件中所做出的改进,列举了该工艺技术中所用的特殊版图;对此工艺的应用性进行了二维的工艺和器件模拟;将模拟结果与实际测试结果进行了比较,验证了这种高压工艺技术的实用性。 相似文献
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汤荣 《科技情报开发与经济》1991,(1):18-19
在铁丝镀锌流水线中增设回收槽和钝化槽后,铁丝镀锌工艺将更趋完善;配套的循环净化溶液措施,大大提高了电镀速度与铁丝镀后的光亮度和抗蚀能力。] 相似文献
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