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22.
微细加工技术是MEMS技术的核心技术,本文详细介绍了常用的MEMS三维加工工艺、应用现状和发展趋势,并提出了目前这些方法中存在的缺陷。 相似文献
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田敬民 《西安理工大学学报》1994,10(2):105-110
多孔硅是晶体硅片在氢氟酸溶液中进行阳极氧化,在硅衬底上形成多孔态的硅材料。本文介绍了多孔硅的形成和结构形貌,对其光学性质和发光机制进行了扼要讨论,并介绍了当前多孔硅研究中的一些热点问题。 相似文献
25.
研制出用于制备空间硅太阳电池上电极的小功率脉冲电镀仪,该电镀仪脉冲电流的频率和占空比具有较宽的调节范围,满足高效率硅太阳电池脉冲电镀的要求,与国内,外普遍采用的真空蒸镀硅太阳电池上电极相比较,脉冲电镀可以制备更窄的栅指电极,电池上电极的遮光损失从7% ̄9%降低到3%。 相似文献
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工业纯铁膏剂法稀土硼铝共渗 总被引:1,自引:0,他引:1
采用膏剂法对工业纯铁进行了稀土硼铝共渗,考察了温度,保温时间对渗层厚度的影响,观察了渗层的金相组织及渗层的生长情况,分析认为,硼化物的形成通过吸附,形核和长大三步实现;硼化物晶核的形成主要是在试样表层的晶界和缺陷处形核,而后以扩散机制长大。 相似文献
29.
用磷酸铝分子筛和硅磷酸铝分子筛作催化剂合成丙酸戊酯的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
赵瑞兰 《湖南师范大学自然科学学报》1992,(3)
用新型磷酸铝分子筛和硅磷酸铝分子筛作催化剂,对丙酸和正戊醇液—固相酯化反应进行了研究.考察了合成条件及用不同方法制备的催化剂对醇产率的影响,当醇酸摩尔比为1.2∶1、催化剂用量为0.6~1.0g/mol丙酸、带水剂环己烷用量为5.0ml/mol丙酸,反应温度为140~160"C时,5hr酯化反应的酯产率大于98%.同时对酯产物的物理常数进行了测定,实测值与文献值相符. 相似文献
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在难熔金属热电偶表而施加涂层的目的,旨在使原仅限和真空、中性及还原气氛中测量的热电偶能在大气中使用.本文讨论涂层对难熔金属热电偶在氧化气氛的"热电势—温度","热电势—时间"的关系及其寿命的影响.具有涂层的W/M.热电偶在氧化气氛(常压下1500℃取得263小时±1%t的最高记录,而W-Re热电偶存1500℃试验的前70小时偏差也在1%t内.而没有涂层的热电偶仅支持数分钟便破坏. 相似文献