频率组合对容性耦合等离子体SiO_2刻蚀的影响

使用两种频率组合(60 MHz/2 MHz,41 MHz/13.56 MHz)激发产生容性耦合等离子体,通过改变源气体流量比、射频源功率、自偏压等条件进行了SiO2介质刻蚀的实验研究.结果表明,两种频率组合中,SiO2的刻蚀速率随放电源功率和射频自偏压的增大而单调上升,然而,两种频率组合中SiO2的刻蚀速率随气体流量比的变化呈现出不一样的趋势:在6%流量比时,60 MHz/2 MHz频率组合中SiO2的刻蚀速率达到最小值,而41 MHz/13.56 MHz频率组合中SiO2的刻蚀速率达到最大值;随后60 MHz/2 MHz频率组合的刻蚀速率随着流量比的增加有所增加,而41 MHz/13.56 MHz频率组合的刻蚀速率随着流量比的增加呈现出先增加后减少的趋势,并且在20%之后表现出了沉积效果.60 MHz/2 MHz频率组合的SiO2介质刻蚀后的粗糙度优于41 MHz/13.56 MHz.     

环氧树脂浇注模具抛光技术

目前高压电器对浇注绝缘类环氧树脂浇注成型模具的质量和寿命要求很高,其中模具的型腔尺寸精度和表面粗糙度已成为决定市场竞争成败的首要因素。提出了环氧树脂浇注模具抛光相关工艺方法,表面粗糙度可完全达到设计技术要求,并且成本低,经济效益好,可为同类型零件加工提供参考。     

衬底温度对电子束沉积LaF3薄膜表面形貌的影响

采用电子束沉积的方法,分别在K9玻璃基片上制备了LaF3单层膜.研究了衬底温度对LaF3薄膜表面形貌的影响；衬底温度从200℃上升到350℃,间隔为50℃.利用原子力显微镜测量了基板镀膜后的粗糙度变化；分析结果表明:在本实验条件下,随衬底温度的升高,均方根粗糙度先增大后减小,达到一定温度后,粗糙度迅速增大.     

关于提高磨削表面质量的探讨

磨削在机械力。工中的比例已日益增大，只有从实际出发，发现并研究影响磨削表面质量的问题症结，才能找到改进工艺的对策和措施。     

海面气象参数的测量存储装置

由日本、美国、英国和澳大利亚共同组织的全球海面温度工作组要求在日本设置海面日射强度、气温、风向与风速的测量存储装置，该装置须在恶劣的工作环境中长期运行，并须具有功耗低，数据存储容量大等特点。作者于１９９３年完成了此项工作，该文介绍该项工作概况及装置的结构特点，主要功能与使用情况。     

利用星载雷达高度计确定海面动力高度的一种新方案

运用共轭变分同化的方法，就如何把卫星高度计资料同化到中尺度分辨率的大洋环流数值模式中去进行了研究。提出了直接利用距平资料来反演平均的海面动力高度的变化同化方案，并验证了可行性，为利用卫星资料进行海洋动力环境研究提供了新途径。     

海平面变化、黄河改道与贝壳堤发育的对应关系

全新世海侵高峰过后，海平面一直处于幅度不大（约１ｍ左右）的振荡运动状态．对应四次“小高海面”时期，天津滨海平原上堆积了四道贝壳堤．历史上，黄河在本区入海，使贝壳堤的贝类组成发生了变化     

浅析表面粗糙度对摩擦的影响

本文从摩擦学角度，以粘着理论为依据，用数据统计方法，对零件加工表面结构的独立单体－微凸体的峰谷曲率半径的大小；沿高度支承面积的变化，以及接触变形过程中塑性指数的力学性质等进行了深入的分析，揭示了零件加工表面与技术性能、使用寿命、工作可靠性及成本有着密切的关系。     

光散射法在位检测钢轧辊表面粗糙度的研究

介绍基于光散射原理的光纤式表面粗糙度测量仪的原理和结构，研制了一种新型测量仪，其测量范围和测量精度都有很大的提高，并应用于在位钢轧辊的表面粗糙度检测。     

不锈钢电解研磨复合加工

对１Ｃｒ１８Ｎｉ９Ｔｉ进行了电解抛光和不织布复合加工实验，并利用正交设计方法中的极差分析法，对实验数据进行了分析，获得了最佳工艺参数，实验表明，这种加工方法可使不锈钢加工表面达到理想的粗糙度或镜面。