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81.
82.
多层冷压印光刻中超高精度对正的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为满足多层冷压印光刻中套刻的超高精度要求,提出了基于斜纹结构光栅的对正技术.利用光电接收器件阵列组合接收光栅产生莫尔条纹的零级光,得到条纹平面内X、Y方向的对正误差信号.通过调整光栅副的间隙来提高误差信号的对比度.利用高对比度和灵敏度的误差信号作为控制系统的驱动信号,对承片台进行宏微两级驱动控制,并由激光干涉仪作为控制系统的反馈环节在驱动过程中进行全程监测,实现自动对正.最终使在X、Y方向上的重复对正精度达到了±20nm,满足了100nm特征尺寸压印光刻的对正精度要求. 相似文献
83.
WGY300型粉状物料动态电子计量装置的测试及精度分析 总被引:1,自引:0,他引:1
以水泥为例,针对粉状物料动态计量过程中单次计量精度误差不易达到国家标准的问题,设计了一种WGY300型粉状物料动态电子计量装置。该装置是在已有的动态计量装置上增设了控制粉状物料残余量的设备,用以清除粘附在装料容器上的残余粉料,从而达到精确计量的目的。 相似文献
84.
一种基于状态边界层的滑模控制器设计 总被引:2,自引:0,他引:2
在滑模控制理论中,减少控制信号抖振一直是研究的热点问题之一。最常用的使用边界层控制的方法会因边界层宽度的不同选择产生不同的结果,或者减少控制信号的抖振,或者降低控制精度。本文提出了基于状态边界层的滑模控制器的设计构想,即用状态的模来调整边界层的宽度。仿真结果表明,这种方法能有效地消除控制信号的抖振,同时兼顾了控制精度。 相似文献
85.
全站仪三角高程替代四等水准测量精度分析 总被引:14,自引:1,他引:14
根据全站仪三角高程测量的原理,推导了全站仪三角高程测量高差的公式,对全站仪三角高程测量影响高差的各种误差精度分析;并通过一个测设实例加以验证,得出了一个较为实用的结论,认为用全站仪三角高程测量完全可以替代四等水准测量,在一定条件下可以替代三等水准测量,能够满足相应的水准精度要求。 相似文献
86.
87.
机枪动态稳定性原理与实践 总被引:11,自引:1,他引:11
针对机枪轻量化的发展趋势,提出保持机枪射向一致性的动态稳定性概念,给出动态稳定性的度量,建立动态稳定性分析模型,从理论和实验探讨动态稳定性的分析方法,通过在某新型机枪研制中的具体应用,取得了令人满意的效果。 相似文献
88.
分析了影响超精密大理石车床主轴回转精度测试结果的误差因素,提出了相应的抑制方法.实验结果表明误差抑制效果及测试精度良好. 相似文献
89.
通过建立连铸板坯凝固过程的传热模型和采用实测温度数据进行检验,获得了铸坯温度及坯壳厚度的数据.在此基础上建立了凝固过程的应变分析模型,得到了实际工况条件下坯壳所受的拉应变.结果表明,在正常工况下,连铸坯凝固前沿所受的应变很小,铸坯不会产生内部裂纹;当导辊开口度的偏差大于2mm时,其引起的应变大于鼓肚应变,且凝固前沿所受的应变大于临界应变,内部裂纹发生的可能性很大.支撑辊对中精度是产生内部裂纹的重要影响因素. 相似文献
90.
宽带钢热连轧工作辊热辊形模型 总被引:5,自引:0,他引:5
实现工作辊热辊形的在线预报是板形控制的难题之一.采用一维有限差分方法建立了工作辊热辊形在线计算模型,并利用该模型计算了热轧过程中和下机后任意时刻工作辊温度场及其热辊形.仿真和在线应用结果表明,此在线模型计算速度快,精度高,能满足板形在线过程控制的需要. 相似文献