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991.
多层冷压印光刻中超高精度对正的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
为满足多层冷压印光刻中套刻的超高精度要求,提出了基于斜纹结构光栅的对正技术.利用光电接收器件阵列组合接收光栅产生莫尔条纹的零级光,得到条纹平面内X、Y方向的对正误差信号.通过调整光栅副的间隙来提高误差信号的对比度.利用高对比度和灵敏度的误差信号作为控制系统的驱动信号,对承片台进行宏微两级驱动控制,并由激光干涉仪作为控制系统的反馈环节在驱动过程中进行全程监测,实现自动对正.最终使在X、Y方向上的重复对正精度达到了±20nm,满足了100nm特征尺寸压印光刻的对正精度要求.  相似文献   
992.
用主动-被动法同步超混沌的实验研究   总被引:2,自引:1,他引:2  
将主动-被动方法应用于自行设计的具有三个正性Lyapunov指数的混沌电路上,不仅从实验上实现了用这种方法同步超混沌,而且从还从理论分析和计算机模拟两方面证实了实验结果的可靠性和正确性。  相似文献   
993.
以4-呋喃甲酰基PMP和4-吡啶甲酰基PMP希夫碱衍生物为母体,分别合成了七种含铜、镧和钆的金属配合物,通过红外、紫外吸收光谱、元素分析等对配体及配合物的结构进行了表征.分别研究了它们对六种指示菌的抑制作用并通过紫外吸收光谱对配合物与DNA的相互作用进行了研究.结果发现上述配合物对DNA的双螺旋结构产生了影响,并且对受试菌均有一定的抑制作用.  相似文献   
994.
本文研究全纯函数涉及公共值的正规族问题.设F为单位圆△内的全纯函数族,α,b与c为3个有穷复数,且b≠0,c≠0,a≠6.若对每个f∈F,f的零点重级至少是k,并且^-Ef(0)=^-Ef(k)(α),^-Ef(k)(b)↓-C^Ef(c),则F在单位圆△内正规.  相似文献   
995.
合成了一系列含中心功能基二异羟肟酸开链冠醚L1H2~L6H2及其钴(Ⅱ)配合物CoL1~CoL6, 并以元素分析, IR, 1HNMR和MS进行表征. 在不同温度下, 测定了钴(Ⅱ)配合物的氧加合常数和热力学参数ΔH0, ΔS0. 讨论了配体结构、苯环上取代基(X, Y)和添加碱金属离子对配合物氧加合性能的影响.  相似文献   
996.
郭守祥 《甘肃科技》2007,23(9):80-82
在城市控制网改造中,选择一种合理、规范、统一的城区坐标系统,十分重要。从目前甘肃省境内各地区现存坐标系统优、缺点分析入手,结合本省的特殊地理位置,根据城市网控制测量的要求,从不同方面阐述了平面坐标系统选择高斯正形投影任意带的平面直角坐标系统,投影面选取城市平均高程面;高程系统选择1985国家高程基准,是适合本省地域条件最理想的城区坐标系统。  相似文献   
997.
改进的遗传局部搜索算法在漏磁逆问题中的应用研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
通过将模拟退火技术加到遗传局部搜索算法(GLSA)的扰动过程中,提出一种改进的遗传局部搜索算法(IGLSA)及基于IGLSA的逆算法,用于从漏磁信号中重构二维缺陷.该算法中,径向基函数神经网络(RBFNN)用作前向模型,IGLSA用于求解逆问题中的优化问题.实验将该逆算法分别与基于规范遗传算法(CGA)的逆算法和基于GLSA的逆算法进行了比较,结果表明基于IGLSA的逆算法更精确,并且对噪声具有鲁棒性.  相似文献   
998.
钯基催化剂在石油化工、精细化工和有机合成中有着广泛的用途。分类概述了钯基催化剂失活的主要原因是晶粒长大、积碳、中毒、钯流失等,并总结了钯基催化剂失活的预防措施。  相似文献   
999.
在亚胺基二乙酸树脂(D401)对附钬(Ⅲ)的最佳pH条件下,详细研究了浓度、温度、振荡频率对亚胺基二乙酸树脂吸附钬(Ⅲ)的吸附速率的影响。  相似文献   
1000.
从探讨影响聚合物型正温度系数 (PTC)材料电性能的因素出发 ,采用炭黑 (CB)填充聚乙烯 (PE) ,分析了不同种类CB的含量 ,以及不同种类PE基体的结晶性能对复合材料导电性和PTC效应的影响 .结果发现 ,采用结构性高和比表面积大的CB进行填充 ,有利于复合材料的导电性和PTC效应 ,而基体的结晶度高 ,复合材料的PTC强度大 ,渗滤阈值小  相似文献   
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