微/纳结构表面3-D轮廓测量中倾斜误差的补偿方法

在对微/纳机电系统进行机械力学特性研究和可靠性测试时，经常需要获取结构的表面3．D轮廓．然而．使用显微干涉法测量微/纳结构的表面3-D轮廓通常会存在一定的倾斜误差，这种误差在某些应用中是不允许的．为了弥补传统的调平补偿方法的局限性，提出了一种基于最小二乘法和坐标变换的倾斜补偿方法：在处理图像时，先用最小二乘法确定一个基准平面，然后旋转直角坐标系使得新坐标系的xoy平面与基准平面平行即可达到调平被测表面而补偿倾斜误差的目的．通过具体应用实例证实了这种补偿方法是有用、灵活而精确的．     

径向振动压电陶瓷薄圆盘振子的机电等效电路与共振频率研究

对轴向极化压电陶瓷薄圆盘振子径向振动进行了理论和实验研究.推出了其机电等效电路,得出了振子共振和反共振频率方程,探讨了振子共振和反共振频率与材料参数之间的依赖关系,给出了压电陶瓷薄圆盘振子的共振及反共振频率与其泊松系数之间的解析关系.实验结果与理论计算符合较好.     

路桥：节能机电产业大集群

近年来,路桥机电产品制造业充分发挥民营经济机制优势,取得了跳跃式发展。从初级机电产品直接跃入高附加值、高科技含量的节能机电产品,呈现出高新化和以出口为主导的特征,并迅速扩展规模,带动了当地一大批企业,形成了节能机电的特色产业集群,从而成为路桥工业经济的主要支撑行业。路桥区委、区政府适时提出建立节能机电省级高新技术特色产业基地的发展目标,通过基地的建设和发展,必将促进路桥先进特色制造业基地的建设进程,不断增强区域自主创新能力和区域核心竞争力,推动路桥经济社会可持续发展。     

棒材连轧机主电机电流与温度远程在线监控系统

分析了棒材主电机电流与温度参数监测的工艺特点，采用集散控制原理和远程监测技术设计了主电机电流与温度的在线监控系统，并在硬件设计的基础上，采用汇编语言和VB6．O开发了数据采集与控制、定时通讯及上位机管理软件。运行实践表明，该系统的使用，不仅降低了设备的故障率，而且保证了生产的安全性和可靠性。     

复杂机电系统全寿命设计研究

复杂机电系统全寿命设计能够满足生产线的高可靠性要求，减少因装备结构复杂而引发的事故，变装备事后安全性评估为事先的主动可靠性设计，因此该研究具有重大意义．本文以齿轮全寿命试验为例，指出了全寿命设计可持续发展必须依赖于小子样系统研究，提出了小子样系统的两种研究策略：数值模拟研究和虚拟样机研究。     

基于实用动态安全域的最优暂态稳定紧急控制

对计及紧急控制措施的实用动态安全域做了大量的仿真研究, 发现了一些重要的安全域临界面迁移规律, 据此提出了一种电力系统最优暂态稳定紧急控制的新方法. 该方法把实用动态安全域与紧急控制措施联系起来, 用紧急控制措施所引起的实用动态安全域临界面沿其外法线方向的迁移距离来表示紧急控制措施的有效性, 通过选择不同的措施控制安全域临界面的推移, 使扩展后的实用动态安全域能涵盖当前系统运行点, 保证系统不会发生暂态失稳现象. 在此基础上, 把控制措施量化为一成本指标, 建立了最优暂态稳定紧急控制的数学模型. 在10机39节点新英格兰系统上的测试结果表明了这种方法的有效性和实用性.     

MEMS--电子领域的新宠

微机电系统技术(MEMS)是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的．其微型化、集成化、批量生产和多学科交叉等优良特性将对人类社会生活带来巨大的进步，是电子领域的新宠。     

两并联电容充放电过程等效电路的讨论

本文从两并联电容电路的暂态时域分析和稳态能量分析角度出发，通过对电容充放电过程中电流随时间变化规律的过程分析，以及电容器充放电过程始末状态静电能变化的状态分析，比较了两并联电容充放电过程的RC等效电路和RLC等效电路的特性。     

面向机电系统状态监测与故障诊断的现代技术

以现代技术为主线综述了机电系统运行状态监测与故障诊断技术的进展,阐述了机电系统运行状态监测与故障诊断方法及系统的发展;从技术流程的角度归纳了信号采集技术、信号分析与处理方法、故障诊断方法和机电系统状态趋势预测的先进技术;展望了基于网络的异地设备运行状态的远程监测与诊断技术以及基于虚拟仪器的监测与诊断仪器系统的新兴技术发展前景.     

基于体硅工艺的微反射镜的原理性实验

基于体硅工艺的微反射镜具有体积小、质量轻、驱动电压低、偏转角度大等优点,在激光敌我识别和光通信等领域都有着广泛的应用。该文设计了一种基于体硅工艺的微反射镜,其偏转角度可以通过驱动电压控制;对这种结构建立了理论模型,对吸合电压、吸合角度和固有频率进行了分析;简要介绍了这种微反射镜的加工工艺;并对微反射镜样机做了原理性实验研究。微反射镜镜面面积为1240μm×980μm,最大偏转角度约为2.6°,吸合电压约为27V,固有频率为750Hz左右。