X射线光刻机的开发研制

X射线光刻是一种能满足大规模集成电路生产的加工技术。本文论述了X射线光刻技术的发展历史和前景，阐述X射线光刻机的光源、曝光系统、掩摸和步进驱动平台等的主要结构和研制动机，提出在X射线光刻机设计中要注意的几个主要问题。     

面曝光快速成形制件的拉伸强度

为了研究面曝光快速成形工艺的制作参数和制件放置方式对制件强度的影响,按照国家标准设计了测试件,在不同的制作参数和制件放置方式条件下,对测试件进行了拉伸实验,研究了不同制作参数和制件的放置方式对制件拉伸强度的影响.结果表明,曝光时间在60~360s范围时,随曝光时间的延长,拉伸强度由2.21MPa逐渐增大到15.94MPa;切层厚度在0.05~0.5mm范围时,随切层厚度的增大,拉伸强度由17.33MPa逐渐减小到1.90MPa;放置方式对测试件的拉伸强度有显著影响,沿长度方向放置制件时的拉伸强度最高.     

背面夹缝曝光的光学模拟及其实验

背面夹缝曝光是利用光学衍射效应来制备三维微结构的新方法.采用Matlab对曝光时间和夹缝对三维SU-8结构形貌的影响进行了模拟,并开展了相应的实验研究.结果表明:背面夹缝曝光是获得三维微结构的简便方法.模拟与实验揭示了相同的规律性,即微结构的侧壁倾斜角度取决于夹缝大小;当夹缝不变时,微结构的侧壁倾斜度不变,但微结构的大小随曝光时间而变化.     

全自动曝光机设计

数控技术和数控机床是制造工业走向现代化的重要基础。数控全自动曝光机的设计涵盖了机械设计、电子技术、光学等方面的知识,其机械结构随着电子技术在机床上的广泛应用及人们对机床性能参数要求的提高,而发生了改变。根据客户对产品的需求,结合目前国内外数控设备的研究现状和发展方向,具体阐述了一种多功能运动的数控机床设计和开发过程。本文主要完成的工作是对数控机床总体方案的确定,分析了曝光机常见几种布局结构,确定了机床的基本结构为放卷,曝光,收卷三部分组成。通过对该设备的基本结构、尺寸进行了详细的设计、计算,利用UG对数控机床的结构进行三维建模,更加直观地展现设计思想。     

美国末日飞机曝光可飞行1万公里抵抗核辐射

在电影《2012末日预言》中,美国一批政要乘坐一架总统专机逃难,而“末日飞机”则是这架飞机的现实版。美国空军近日罕见地透露“末日飞机”的内部情况,指出就是面临核战、陨石袭击地球等“末日环境”,它配备的防护装置也可以保护飞机七的政要。     

基于紫外厚胶的微悬臂结构设计与加工

研究了一种以SU-8光刻胶为结构材料的微悬臂结构。通过控制紫外光刻过程中的曝光剂量,仅仅使光刻胶的上部分发生交联,下部分的光照强度不足以发生交联反应,制作了厚度从149μm到345μm不等的微悬臂结构,并通过分析得出了悬臂厚度与曝光剂量的关系式。结果显示,采用该方法所制作的悬臂结构具有质量轻、价格便宜、操作灵活性大等特点,为制作出复杂的三维空间悬臂结构奠定了基础。与传统以硅或金属材料为基础的微悬臂相比,能够更好地适应目前微型传感器的发展趋势,具有非常广阔的发展空间。     

从理想光具组出发导出景深及起焦距

景深对判断照片品质是一个很重要的标准。景深和超焦距公式曾在文献中出现过，但推导公式出发点的物理意义不明确，难以服人。本文从理想光具组成像原理出发推导出景深和超焦距的公式，物理思想明确，并结合公式绘出了景深与有关参量的直观图，摄影者容易理解和掌握。     

家鸡胸腹部X线摄影条件的研究

利用国产F30型X线机,对成年家鸡胸腹部进行了42次X线摄影,结果表明,国产低性能X线机完全能用于鸡的X线摄影。摄影条件为FFD 75cm,KV=腹厚(cm)+53～56,mAs 9～12,投照方位以右左位为佳,无需麻醉和其它保定用具。