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41.
用扫描电镜能谱分析半定量和定量测定,经不同热处理工艺的Ag-Cu、Ag-H_(62)冷复合和磁控溅射复合电接点材料界面的成分分布,计算了扩散系数激活能实验表明,材料复合界面是金属键结合。 相似文献
42.
固体中离子传输和原子碰撞级联的计算机模拟程序TCIS已发展起具有模拟离子 束作用下固体靶中成分动态演变的功能。本文详细介绍动态 TCIS模拟程序的物理模 型及计算方法,给出算例及有关问题的讨论。动态 TCIS可以研究离子束轰击三元靶 的复杂问题:如大剂量离子注入、择优溅射和界面混合等。 相似文献
43.
44.
在镀Pt的Si基底上用射频溅射方式制备了Pb(Zr0.55Ti0.45)O3铁电薄膜,成膜温度为250℃。X射线衍射分析表明几乎没有焦绿石相产生。另一方面,氧化钛-氧化锆固溶体则作为反应产物出现,由此提出了PZT固溶体的一种可能的形成机理。 相似文献
45.
AlN和AlSiN薄膜的制备工艺及其光学特性 总被引:4,自引:0,他引:4
研究了反应溅射AlN和AlSiN薄膜的制备工艺,讨论了它们的光学性能与溅射工艺参数的关系,实验结果表明,在优化制备工艺基础上能制备出具有优良光学性能(高折射率、低消光系数、高透射率)的AlN及AlSiN薄膜。 相似文献
46.
崔广霁 《系统工程与电子技术》1988,(9)
本文介绍了高温超导薄膜的最新进展。从超导电子学器件制备工艺的角度强调了薄膜均匀性和平整度、薄膜对平面工艺过程的适应能力以及薄膜衬底的选择等问题的重要性。侧重介绍了制备超导薄膜的各种实验技术的基本实验条件、方法和结果。 相似文献
47.
常温下,利用射频(RF)反应磁控溅射方法在K9双面抛光玻璃基底上沉积氧化钛薄膜.采用光栅光谱仪对薄膜样品的透射谱进行测试,通过椭圆偏振光谱仪测试并拟合得到薄膜的厚度、折射率和消光系数等光学参数,借助掠入射角X-射线衍射对薄膜的结晶状态进行了测试.实验结果表明:不同溅射功率下沉积的样品呈非晶态,在40~100W范围内,溅射功率越大,薄膜的沉积速率越大,但溅射功率对折射率和消光系数影响不大. 相似文献
48.
薄膜热阻式热流计具有响应速度快、结构微型化以及量程广、输出大等优点,是当前使用最广泛的热流传感器.热阻层SiO_2膜层与基底材料的结合性能对于热流计的高可靠性来说十分重要,而膜层特性与溅射沉积参数、后期热处理技术之间密切相关.因此,该文围绕离子束溅射SiO_2薄膜作为热流计热阻层材料,对不同镀膜时间、热处理工艺之后膜层的表面成分、形貌以及与基底结合强度进行了研究分析.研究发现,550℃热处理能够有效改善膜层的结合力,离子束溅射制备的SiO_2薄膜热阻层在高温循环考核的环境下依然保持了较强的结合力. 相似文献
49.
SeijiKatayama MasamiMizutani TaishiTarui KiyokazuMori 《兰州理工大学学报》2004,30(4):31-36
1 IntroductionZn coatedsteelsareusedinvariousindustryfieldsbecauseoflowpricesandhighcorrosionresistance .ItisalsoknownthatZncausesspattersorporosityeasilyinlaserlapwelding[1~ 3] .ItisthusexpectedtounderstandlaserweldingphenomenonofZn coatedsteels,tointe… 相似文献
50.
自上世纪60年代人类发现月球辉光以来,月尘研究成为世界上许多科学家关注的焦点。此类研究既包括月尘分布这样的宏观研究,又需要通过像带电粒子运动这样的微观研究透视月尘运动的本质。本文通过分析月球地质运动、小天体撞击溅射等月尘可能的产生原因,利用嫦娥等探月数据对月尘的可能分布情况进行简要推断及阐述。 相似文献