排序方式: 共有58条查询结果,搜索用时 428 毫秒
51.
52.
吴永礼 《国外科技新书评介》2006,(2):1-2
本书全面论述表面一微加工技术的各个方面,把表面微加工的制造工艺、微尺度现象和设计数据与物理形状及功能联系在一起,并介绍具体元件的理论和设计。全书分为一个引言和四个部分(含6章),第1章引言。第一部分制造(含第2~3章),介绍微制造工艺和微加工技术。第二部分设计(含第4~8章),论述微尺度物理学、力学、设计工艺、非理想工艺和设计技术。 相似文献
53.
电容式微加工超声传感器(cMUT)是近年来出现的新型器件,具有高灵敏度、频带宽和机电转换效率高等优点,大有取代传统的压电式超声传感器之势.介绍了cMUT的基本结构和工作原理,提出了一种新型传感器结构.针对此结构建立了两个有限元模型,通过对其中的一个三维模型进行模态分析得知,cMUT可工作在一阶频率处,其振动频率为4.582MHz;利用另一个三维模型进行静态和谐波分析,得出传感器的塌陷电压为213V,当对cMUT施加45V直流偏置电压和1.6V交流电压时,其谐振频率为4.147MHz,薄膜的最大位移为0.447μm. 相似文献
54.
55.
利用扫描隧道显微镜制造纳米级结构 总被引:2,自引:1,他引:1
在大气环境中用STM进行纳米级超微加工,以高定向热解石墨(HOPG)和金薄膜作为样品,通过在STM探针和样品之间施加一定的脉冲电压制造出了尺度在纳米量级的结构,还对所形成的结构特征进行了分析,总结出部分规律。 相似文献
56.
采用两层多晶硅表面微加工工艺, 研制开发了一种新型的微型可编程闪耀光栅. 该光栅具有结构简单、工作谱段宽、光谱连续可调等特点. 为了实现可工作闪耀角的最大化, 有效利用Dimple结构作为栅条的核心功能组件, 其高度接近空气间隙. 由实验测得, 研制的微型可编程闪耀光栅在驱动电压112 V作用下能达到的最大可工作闪耀角约5.19°, 对应的最大闪耀波长达到中红外4.88 μm. 在此基础上, 以该微型可编程闪耀光栅为核心的分光元件, 研究了其在多光谱成像领域应用的可行性, 并搭建了多光谱成像系统的原型样机, 得到了较好的实验结果. 最后, 讨论了该成像系统的优点, 并提出了进一步研究的建议. 相似文献
57.
58.
激光微加工凹坑表面形貌摩擦特性的试验研究 总被引:3,自引:0,他引:3
基于试验,研究了激光微加工表面的摩擦特性.采用Nd:YAG脉冲激光在Cr12合金钢试件表面加工出圆形凹坑,然后利用环块摩擦磨损试验机研究其对摩擦特性的影响.试验结果表明,和光滑的表面相比,深度为I10.7时,面积比率为5%的凹坑可显著降低摩擦系数,面积比率为17%的凹坑会使摩擦系数变大;面积比率为5%时,深度为I10.7的凹坑可显著降低摩擦系数,深度为I10.2的凹坑使摩擦系数变大;深度为I10.7,面积比率为10%的凹坑以及面积比率为5%,深度为I10.2的凹坑在400 r/min可降低摩擦系数,在200 r/min会使摩擦系数变大. 相似文献