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81.
超精密表面抛光材料去除机理研究进展 总被引:15,自引:2,他引:15
化学机械抛光(Chemical-Mechanical Polishing, 简称 CMP)是目前提供全局平面化最理想的技术, 在超精密表面加工领域得到了大量研究和应用. 概述了超大规模集成电路(Ultra-large Scale Integration, 简称ULSI)多层布线中硅片、介电层和金属材料以及磁头/硬盘片化学机械抛光材料去除机理的研究现状和发展趋势, 重点评述了化学机械抛光过程中抛光液研磨颗粒与抛光片表面间相互作用机制, 并提出了材料去除机理的研究方法. 相似文献
82.
电子射线电子洗涤工艺研究进展 总被引:3,自引:0,他引:3
为了满足发达的工业对能源的需求,电站不断增多.电站在生产电能的同时,排放出大且含SO_2、NO_x的有害气体.为了减少电站排放的气体对大气的污染,需对SO_2、NO_x进行处理.目前较先进的电子射线气体洗涤方法.可在燃烧后的烟道气体中同时去除 SO_2和NO_x. 相似文献
83.
利用程序升温反应技术(TPR)详细考察了在La0.8K0.2MnO3催化作用下,反应气体流量、反应气中碳烟质量分数和氧体积分数变化对NOx和碳烟氧化还原反应的影响.研究结果表明,反应气体流量越低、碳烟质量分数越高,越有利于反应进行.当流量由100 mL/min减小至40 mL/min时,碳烟的起燃温度和最大燃烧温度会降低大约50℃,NOx转化为N2的最大效率则从9.7%升至19.1%;碳烟质量分数的改变对碳烟的燃烧温度基本没有影响,但NOx转化为N2的效率随着碳烟质量分数的增加而显著增加,碳烟质量分数由3%增至18%时,NOx转化为N2的最大效率从8.4%升至27.3%;氧体积分数改变对催化反应有两方面影响,氧体积分数增加能促进碳烟的燃烧,但对NOx还原有一定程度的抑制作用,当氧体积分数由2%变为5%时,碳烟的起燃温度和最大燃烧温度分别从330℃和405℃降低了30℃,NOx转化为N2的最大效率从14.5%降至11.2%. 相似文献
84.
本次课题研究是在原有多年研究的基础上,针对地下水中的铁和锰的去除,而进行的系统深入的研究。从20世纪80年代开始,课题组根据我国及国外地下水除铁除锰工程实践中普遍存在的问题,从应用研究入手,通过大量的实验室实验和现场除锰滤池模拟试验, 相似文献
85.
为克服运动目标检测中光照变化、阴影干扰等的影响,提出了一种具有箱式约束的鲁棒主成分分析方法,用于带阴影的视频运动目标检测。该方法建模时首先将输入的视频数据分解为低秩背景、稀疏前景与阴影3个部分;接着在传统鲁棒主成分分析模型的基础上对阴影变量施加箱式约束,利用Powell-HestenesRockafellar增广拉格朗日乘子法将上述约束转化为目标函数的惩罚函数项,推导了3个子问题的闭合解,并用交替方向法对模型进行求解;最后在公开数据集上对该方法进行了测试。实验结果表明,该方法能够在检测运动目标的同时去除阴影,场景适应性较好。 相似文献
86.
随着塑料制品的普及和塑料产业的发展,塑料垃圾不断进入环境中,分解为更难处理的微塑料(MPs)。微塑料广泛存在于水、土壤、大气中,并通过食物链不断向人体富集,引起各界学者的重视。概述了微塑料的分类与来源、危害、检测技术和去除技术的研究进展,并对未来环境中微塑料的研究作出展望,为微塑料研究人员提供参考。 相似文献
87.
在光学自由曲面的成形抛光加工当中,加工去除的稳定性对工件加工质量具有重要的影响,而抛光液的更新是保证去除稳定的关键。该文提出了一种具有公自转运动形式的可更新磁流变抛光工具,能够完成磁流变抛光液内部磁链的重组更新,使得加工去除稳定。针对此抛光工具,使用刚体润滑理论获得理论去除轮廓,通过实验获得其在单自转状态下的去除轮廓,与理论分析吻合。峰值去除量时间的实验表明,该抛光头的去除效果受时间的影响很小,抛光去除稳定。 相似文献
88.
以好氧-厌氧耦合反应器中的活性污泥为种泥,采用通过控制运行条件在SBAR中成功地培养出了好氧颗粒污泥。研究表明,该好氧颗粒污泥具有良好的去除COD和TOC的性能。好氧颗粒污泥成熟后平均直径为0.5~2.0mm,沉降速度为14.9~31.8m/h,反应器对COD和TOC的去除率分别小于91.42%和93.46%。 相似文献
89.
为消除脑电信号中的心电、眼电等伪差,在已有的不动点算法和带参考信号的独立分量分析算法的基础上,提出了一种多参考信号的独立分量分析方法.该方法通过计算各伪差在各路观测信号中的比重,去除伪差对观测信号的影响,从而得到较为纯净的脑电信号,所提方法相对于传统的fast ICA算法具有更小的计算量,并且不需要对分离的独立源进行人工干预,同时也是对ICA-R算法的一种扩展,解决了其只能提取单路源信号的缺点.仿真实验证明该方法更切合实际情况,而且能够更加有效地去除脑电信号中的多个伪差. 相似文献
90.
连铸中间包底吹气过程水模型实验研究 总被引:11,自引:0,他引:11
以宝钢集团梅山钢厂1台连铸中间包为原型,采用自行设计的吹气装置于底部吹气,用水模型的方法研究了吹气对中间包过程的影响。实验结果表明,底部吹气显著地改变了中间包内的流体流动特征;当不吹气时,通过上挡板下部的液流以层流形式贴近中间包的底部流动,然后从出口直接流出,在中间包的停留时间较短,死区体积较大,不利于夹杂物的去除;吹气以后,上升的气流起到了气幕挡墙的作用,通过上挡板下部的液流,被上升的气流抬起,贴近液面流动;吹气有利于增加平均停留时间,缩小中间包的死区体积,此外,上升的气流对中间包的液流具有一定的清洗作用,有利于夹杂物的去除;吹气用于中间包去夹杂过程,不需要较大气体流量。在气体流量相同时,在水模型实验装置中3个位置吹气对中间包的平均停留时间、中间包的死区体积分数、最短平均停留时间的影响大致相同,但总体上,中间位置的吹气效果要好于其他2个位置的吹气效果。 相似文献