CVD法制备高质量硅外延片的工艺研究

本文采用化学气相沉积(CVD)法在单晶硅衬底上沉积硅外延层,同时研究了沉积工艺对外延层电阻率和厚度的影响规律。研究发现采用H2气变流量吹扫后可以有效抑制非主动掺杂,提高外延层电阻率的均匀性;衬底表面气流边界层厚度会对外延层的沉积速率有显著的影响。通过对沉积工艺的控制可以得到电阻率和厚度均匀性良好的硅外延层。     

基于仿真实验的QFD相关分析粗糙集方法研究

在运用质量功能展开工具构建质量屋时极为重要的一个步骤是对顾客需求与工程特性的相关性分析.虽然最近有文献论述粗糙集依赖分析相比其他方法而言更为有效,但是本研究发现语言信息数据标量间距不等这一特殊性质,在一定程度上会削弱该方法在质量功能展开相关性分析运用中的有效性.本研究基于语言信息理论详细阐述了该方法应用中问题产生的机理,在此基础上提出运用于质量功能展开中粗糙集依赖度分析的优化模型,并利用仿真实验验证了优化模型的有效性.     

有序含氮介孔碳对金属离子的吸附性能

以SBA-15为硬模板,吡咯为含氮碳源,通过硬模板法合成了有序含氮介孔碳(NMC).该材料具有高度有序开放的介孔结构,比表面积和孔容分别为647m2/g和0.8cm3/g,最可几孔径为3.5nm,碳氮比为11.3,其表面具有多种含孤对电子或带正、负电子的官能团,且具有良好的热稳定性.对Cu(Ⅱ)、Zn(Ⅱ)、Ni(Ⅱ)、Cr(Ⅵ)和Mn(Ⅶ)等离子的吸附研究表明:在50ml/L稀溶液中,该材料对各金属离子的平衡吸附量依次为Cu(Ⅱ)>Cr(Ⅵ)>>Ni(Ⅱ)～Zn(Ⅱ)>>Mn(Ⅶ),对Cu(Ⅱ)离子表现出选择性吸附,溶液中98%以上Cu(Ⅱ)离子可被吸附.NMC对Cu(Ⅱ)、Cr(Ⅵ)离子的吸附行为遵循Langmuir等温吸附方程,且有高饱和吸附容量,分别高达120.7mg/g和322.6mg/g,为有序介孔碳(CMK-3)的1.4和2.1倍.该材料循环使用3次后,依然保持很好的吸附性能.     

大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究

以内径1.1m的大尺寸中阶梯光栅镀膜机为例,设计了提高膜厚均匀性的修正挡板,并应用到了镀膜机中。在520mm×520mm的镀膜面积范围内,膜层厚度的均匀性误差从±6%降低至±0.96%,满足大尺寸中阶梯光栅研制的膜厚均匀性要求。     

白蜡多年卧孔菌发酵培养条件优化的研究

对白蜡多年卧孔菌最佳发酵培养条件进行了探索,其摇床发酵最优培养条件为：葡萄糖37.7 g/L,酵母粉8.3g/L,磷酸二氢钾6.31 g/L;培养温度30℃,500 mL三角瓶装液量200 mL,初始pH值为6,摇床转速180r/min,10％接种量培养7d,最大产量达到15.46 g/L.发酵罐最优培养条件为：葡萄糖37.7 g/L,酵母粉8.3g/L,磷酸二氢钾6.31 g/L,培养温度30℃,装液量6L/10L,初始pH为6,搅拌速度380 r/min,10％接种量培养120h,最大产量达到19.47 g/L.     

功能梯度材料板断裂分析

为深入理解功能梯度材料的断裂行为,研究了机械载荷下任意机械属性功能梯度材料板裂纹尖端特性,根据叠加方法,把应力场转化为裂纹表面载荷,采用基于非均匀单元的有限元方法计算并分析了机械载荷下功能梯度板裂纹尖端特性,针对含有中心裂纹功能梯度材料板,考察了应力强度因子的变化规律.研究结果表明,功能梯度材料结构的几何参数及材料属性对裂纹尖端无量纲应力强度因子的变化规律具有显著影响.     

小型轴类零件上的小孔加工工艺分析

对于一些小型轴类零件上斜面上的小孔,通常需采用专用钻具来进行加工。而专用钻具的加工尤为关键。本文对于此类型零件从加工到检测进行分析,旨在保证加工后的质量,满足零件的需要。     

硅基介孔材料负载手性金属催化剂的研究进展

近年来,以有序的介孔硅基材料为载体报道的负载手性金属催化剂受到了广泛的关注,它们的易制备、高活性和可重复利用特点也为其工业化提供了可能.简要综述了硅基介孔材料的负载策略及常见的硅基介孔材料负载手性金属催化剂.     

某超长混凝土结构厂房地基不均匀沉降检测及分析

通过对围护墙体开裂、吊车运行、局部钢支撑屈曲和使用环境的调查,总结了某超长混凝土结构工业厂房地基不均匀沉降的特点.对吊车轨顶相对沉降量、排架柱倾斜以及基础梁相对沉降量等进行了实测,分析结果表明,主厂房基础部分座于原有旧基础上,地基基础底部土层分布复杂且不均匀,地基因浸水而导致承载力降低,以及厂房内部长期堆积的过大荷载是地基发生不均匀沉降的主要原因.     

开孔板连接件剪切受力的理论模型

现有的开孔板连接件抗剪承载力计算公式基本上是基于开孔板连接件的推出试验结果,通过数值回归分析得到的。但是由于试验方法和试件尺寸的不同得到的试验结果不同,使得各个计算公式相差较大。本文根据开孔板连接件的试验破坏形态,分析了开孔板连接件的破坏机理,采用理论方法推导了开孔板连接件抗剪承载力计算方法。通过与试验结果对比,本文提出计算方法与其吻合很好,具有较高的精度,可被工程设计使用。