微结构和尺寸约束下多晶硅微机械构件拉伸强度的尺寸效应

微型机电系统(MEMS)是面向21世纪的关键技术, 微型机械的设计与制造在很大程度上取决于材料问题的解决. 影响微型机械装置功能和可靠性的薄膜材料力学性能需要精确的评价. 利用电磁力驱动, 设计了一种微拉伸装置, 从而精确地测定了长度为100～660 μm, 宽度为20～200 μm, 厚度为 2.4 μm的多晶硅薄膜的力学性能. 结果表明, 测得的平均弹性模量为(164±1.2) GPa, 与理论计算值相当. 平均拉伸强度为(1.36±0.14) GPa, 其Weibull分布参量为10.4～11.7. 统计分析表明, 由于微结构和尺寸的约束使得多晶硅薄膜的拉伸强度表现出对微构件长度、表面积和体积的尺寸效应. 拉伸强度随表面积与体积之比值增加而增加, 这一比值可作为尺寸效应的控制参量. 测试数据解释了微构件力学性能参量的离散性, 并可用于多晶硅微机械的可靠性设计. 最后, 提出了应变设计准则, 允许应变为0.0057.     

基于横向多晶硅二极管的CMOS兼容热风速计

提出了并试制了一种采用多晶硅横向二极管作为测温元件的CMOS兼容热风速计，该风速计的加热元件和测温元件均采用多晶硅技术制造，工艺与CMOS兼容，对横向多晶硅二极管的温度敏感特性调查发现，其正向电流随温度增加几乎呈线性增加，显示该多晶硅二极管具有负的电压温度系数，其值约为－1．8mV/K，非常接近单晶硅上PN结的电压温度系数－2mV/K，采用CMOS工艺试制由8个横向多晶硅二极管组成的风速计结构，并实验测量了其风速和风向敏感特性。     

PECVD法制备纳米晶粒多晶硅薄膜

采用射频等离子体增强化学气相沉积系统（RF-PECVD）以高纯SiH4为气源在P型〈100〉晶向单晶硅片上、衬底温度600℃、射频（13.56MHz）电源功率50W时沉积非晶硅薄膜,利用高温真空退火制作纳米晶粒多晶硅薄膜。采用X射线衍射仪（XRD）、Raman光谱、AFM测量和分析薄膜微结构及表面形貌,实验结果表明,退火温度为800℃时非晶硅薄膜晶化,形成择优取向为〈111〉晶向的多晶硅薄膜;退火温度增加,Raman谱TO模和TA模强度逐渐减弱;AFM给出800℃退火后薄膜晶粒明显细化,形成由20~40nm大小晶粒组成的多晶硅薄膜,薄膜晶粒起伏程度明显减弱。     

多晶硅压力传感器

研制一种多晶硅压力传感器．它采用一氧化硅介质膜隔离代替ｐ－ｎ结隔离，提高了工作温度；通过控制掺杂浓度，改善了温度特性．实验表明，该传感器灵敏度高，工作温限高，温度漂移小．     

基于组态王的多晶硅凝固生产线监控系统

给出了基于组态王6.53组态软件的多晶硅定向凝固生产线监控系统的设计及实现.开发了一个界面直观、功能较全面的监控系统,实现了对多晶硅凝固生产线的手动/自动控制,包括数据的采集和分析,控制参数的自整定,故障的报警和处理等功能,为提高产品质量提供了关键的数据和图表分析.该监控系统的设计综合使用了组态软件、数据库技术及VB程序设计语言,设计出的系统人机界面友好,操作简单方便,已成功应用于生产实践中.     

多晶硅薄膜制备技术的研究进展

多晶硅薄膜是当前在能源科学和信息技术领域中广泛使用的功能材料,它兼具单晶硅和氢化非晶硅(a-Si:H)的优点.本文评论了近几年多晶硅薄膜制备技术的研究进展,着重讨论了每种方法薄膜的淀积机理,并预测了多晶硅薄膜制备技术的未来发展趋势.     

太阳能级多晶硅产业发展及其制备工艺概述

能源短缺和环境问题促使可再生能源的快速发展,其中光伏产业发展尤为迅速。介绍了作为光伏产业的基础材料——多晶硅产业的发展现状,着重对太阳能级硅材料的主要制备方法和一些新工艺进行了综述和分析,提出了多晶硅产业的发展建议。     

硅材料生产中污水的处理及综合利用

本文处理的是高含Ｃｒ＾＋６，ＨＦ及ＮＯ３等有毒、腐蚀性经的污水。采用把多晶硅和单晶硅腐蚀液分别惧要单独进行处理。这样废液体积小，浓度大便于处理回收。污水处理后有害物质含量远优于国家标准，而且所用设备简单，原料便宜易得。     

基于ARM9的彩色LCD屏驾控信息显示仪表的设计

阐述了一种基于ARM的全数字彩色液晶仪表的设计思想、工作原理及实现方法。该系统利用高性能微控制器AT91SAM9263结合嵌入式操作系统μC／OS-Ⅱ及嵌入式图形用户接口μC／GUI构建了具有CAN通信、显示汽车所有运行参数并具有故障报警功能的汽车车况综合信息平台,具有较好的扩展性,是汽车仪表数字化智能化的必然发展趋势。     

冶金法高纯度多晶硅生产工艺技术经济分析

一、市场背景 作为一种清洁、可再生能源，太阳能备受世界各国的重视，光伏发电是太阳能利用的主要形式之一。太阳能光伏发电具有不消耗燃料、不受地域限制、规模灵活、无污染、安全可靠、维护简单、寿命较长等无可比拟的优点，所以自从实用性硅太阳能电池问世以来，世界上很快就开始了太阳能光伏发电的应用。