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442.
基于MVA的半导体生产过程质量分析方法 总被引:1,自引:0,他引:1
针对半导体晶圆生产中存在着位置间变异、晶圆间变异及批次间变异,提出了基于多变异分析(MVA)的工序质量分析方法.该方法通过建立基于方差分析晶圆生产工序质量的多变异分析模型,研究了晶圆生产过程中3种变异与总变异之间的定量关系.由定量关系推导出晶圆生产中的抽样规则,并提出了3种常用过程能力指数Cp,Cpk和Cpm的改进计算方法.通过在晶圆生产中的实际应用,证明了该方法中的抽样规则能捕获加工过程中主要随机变异,该方法计算获得的过程能力指数可较为真实地反映生产过程质量状况. 相似文献
443.
444.
文章通过对合肥地区土的液限与塑性指数的相关性分析,以及目前土的塑限试验存在的问题,提出建立液、塑限的线性关系式,用计算值来代替塑限试验。 相似文献
445.
齐秀文 《湖北大学学报(自然科学版)》2021,43(1):16-21
借助变指数Lipchitz空间范数的等价刻画,讨论Bochner-Riesz算子的变指数Lipchitz交换子从变指数Lebesgue空间到变指数Lebesgue空间的有界性,同时也证明Bochner-Riesz算子的变指数Lipchitz交换子从变指数Lebesgue空间到变指数Lipchitz空间是有界的. 相似文献
446.
上奥陶统五峰组观音桥段一直存在着深水和浅水成因的争论。据此本文通过岩心、露头、岩矿测试、有机地化和元素分析等资料,对观音桥段基本的地质特征和沉积古环境进行分析,并与上、下围岩进行对比,探讨其成因模式及页岩气地质意义。结果表明:赫南特冰期全球海平面骤降,鄂西地区具有陆源输入量低、上升洋流活跃、滞留程度中等和海洋生产力高的特点,而水体氧化还原条件在不同地区差异明显,这种差异受海平面变化和沉积前古地貌共同控制,进而影响着观音桥段的岩性展布;在隆后凹陷区,底水氧化还原状态受海平面下降影响相对较弱,以贫氧环境为主,有机质和浮游生物的保存条件较好,岩性以富有机质深水硅质页岩沉积为主,与上、下围岩岩性基本一致,体积压裂可以穿越该段同时对两套富气页岩进行产层改造,为勘探开发有利区域;而在隆起区周缘,海平面下降导致水体变浅明显,底水以富氧环境为主,保存条件变差,岩性以贫有机质的浅水介壳灰岩或泥质灰岩沉积为主,对上、下围岩产生明显的隔断,体积压裂难以穿越该段,产层改造效果差,为次级有利区。 相似文献
447.
古机械的复原是以一古机械原型为本体,根据古代的机械原理、机械工程、以及工艺技术等,重新建构此一机械.本研究以古中国机械为对象,根据史料成分进行分类,并提出一复原研究程序,有系统地建构古机械原型及古代机械科技和工艺,目的在提供研究机械史学领域的一个创新方法. 相似文献
448.
449.
基于终端能源消费视角,在全面测算2005—2020年中部六省生产和生活部门碳排放的基础上,运用LMDI方法将两部门碳排放因素分解为经济增长、产业结构、能源强度、能源结构、碳排放系数和人口规模、能源结构、人均能耗强度、碳排放系数,再通过Tapio脱钩模型分析中部六省能源消费碳排放与经济增长的脱钩关系。结果表明:(1)生产部门中经济增长是碳排放增长的主要推动力,能源强度是工业和第三产业碳排放主要抑制因素,产业结构和能源强度对第一产业碳排放起主要抑制作用。生活部门中人均能耗和能源结构对碳排放起主要的推动作用,碳排放系数对生产和生活两部门碳排放都产生了一定的抑制效果;(2)研究期间六省脱钩状态总体上得到了优化,当前除山西省外,其余各省已实现弱脱钩,河南、湖北、湖南三省更是达到了强脱钩阶段。 相似文献
450.
根据小数据量法的思想提出了一个新的算法:模糊C均值聚类小数据量法.将模糊C均值聚类算法用于小数据量法线性区域的选择,提高了算法的计算精度,最后用数值算例验证了该算法的有效性. 相似文献