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基于MVA的半导体生产过程质量分析方法 总被引:1,自引:0,他引:1
针对半导体晶圆生产中存在着位置间变异、晶圆间变异及批次间变异,提出了基于多变异分析(MVA)的工序质量分析方法.该方法通过建立基于方差分析晶圆生产工序质量的多变异分析模型,研究了晶圆生产过程中3种变异与总变异之间的定量关系.由定量关系推导出晶圆生产中的抽样规则,并提出了3种常用过程能力指数Cp,Cpk和Cpm的改进计算方法.通过在晶圆生产中的实际应用,证明了该方法中的抽样规则能捕获加工过程中主要随机变异,该方法计算获得的过程能力指数可较为真实地反映生产过程质量状况. 相似文献
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选择大气环境污染严重的石家庄市冬季降雪样品,进行可溶性离子组成测试和不溶性颗粒物形态分析.结果表明,石家庄市大气降雪中离子总浓度很高,降水水质受到严重污染.降雪阴离子中以SO42-为主,NO3-较少,反映大气环境主要受燃烧排放的污染,酸性沉降的前体物较多.阳离子中以NH4 和Ca2 为主,主要来自石家庄市的土壤风沙扬尘作用.石家庄市大气降雪的(ρ(NH4 ) ρ(Ca2 ))/(ρ(SO42-) ρ(NO3-))比值高达1.93,具有对酸的强中和能力,致使其酸性降水实际发生率较低.电镜观察显示降雪中不溶物的颗粒形态特征主要有5类,其中以团聚体形态颗粒物最多,次为较规则体和球体颗粒,生物质颗粒和未知颗粒稀少,反映石家庄市冬季大气环境中悬浮颗粒物来自燃料燃烧和裸地起尘. 相似文献
906.
大学生英语自主学习能力培养策略 总被引:1,自引:0,他引:1
学生自主学习能力的培养是当今教学改革的主要内容之一。为全面提高学生英语的综合应用能力,教师必须帮助学生确立学习目标,正确引寻学习策略,培养良好的学习习惯,从而提高他们的自主学习能力。 相似文献
907.
对30名专业摔跤运动员进行Wingate无氧实验.为探讨摔跤训练对人体无氧工作能力的影响,结果表明,摔跤训练可提高人体无氧功率能力,加快运动启动速度;用Wingate无氧实验评价时,前10 s无氧功率值的高低比其递增的幅度,更能反映摔跤训练效果;30 s Wingate无氧实验主要反映出摔跤训练对人体无氧功率的影响,而对无氧能力的评价不明显;Wingate无氧实验对评定摔跤训练效果和水平更具有指导意义. 相似文献
908.
为了提高准Z源逆变器的升压能力,同时减小电容电压应力和输入电感电流纹波,结合具有高升压能力的改进型开关电感,用改进型开关电感替代级联型准Z源逆变器二级阻抗网络中的电感,提出了一种新型准Z源逆变器.分析了其拓扑结构和工作原理,仿真结果表明,与级联型准Z源逆变器相比,该逆变器具有升压能力强、输入电感电流纹波小、电容电压应力... 相似文献
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