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基于MVA的半导体生产过程质量分析方法 总被引:1,自引:0,他引:1
针对半导体晶圆生产中存在着位置间变异、晶圆间变异及批次间变异,提出了基于多变异分析(MVA)的工序质量分析方法.该方法通过建立基于方差分析晶圆生产工序质量的多变异分析模型,研究了晶圆生产过程中3种变异与总变异之间的定量关系.由定量关系推导出晶圆生产中的抽样规则,并提出了3种常用过程能力指数Cp,Cpk和Cpm的改进计算方法.通过在晶圆生产中的实际应用,证明了该方法中的抽样规则能捕获加工过程中主要随机变异,该方法计算获得的过程能力指数可较为真实地反映生产过程质量状况. 相似文献
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知识经济时代,企业商标权的保护对企业提高自主创新力,提高核心竞争力日益重要。企业应该清楚地认识并运用法律武器,结合自己特点,灵活运用商标权保护策略,最大限度地维护、扩大自己的合法权利。企业商标权保护以及知识产权管理、运用水平的程度对企业技术创新能力的提高和参与市场竞争成败的重要作用将日益显现出来。 相似文献
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通过增加车辆预留能力系数,保证在避免货物重新排列的情况下完成取送货.充分考虑物流运输行业的现状,重点研究相关参数模糊且各取货节点动态随机出现的问题.在求解方法上,首先为车辆路线中每一个节点、车辆以及相邻节点间的路径建立标签,并建立初始路径;其次,通过标签插入方法求解模糊动态问题;最后给出了方案应用失败后的处理方法.仿真实例验证了所提方法的有效性. 相似文献
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以C鳞片,SiC,B4C和TiO2为原料,在2000℃热压合成C-SiC-B4C-TiB2复合材料.研究复合材料在600~1400℃静态空气中的恒温氧化行为,利用TG/DTA研究复合材料氧化机理,利用XRD,SEM研究复合材料恒温氧化后表面相组成和氧化层剖面的显微结构.结果表明不同C鳞片含量的复合材料的氧化动力学曲线均为抛物线,氧化层可分成氧化膜和过渡层,C鳞片质量分数为20%的复合材料在1400℃时有很好的抗氧化自还原能力,表面生成致密的氧化膜,氧化膜的成分为未形成玻璃态的TiO2或SiO2.TiO2固溶体,组织形貌为枝条状. 相似文献
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牛学军 《中国人民公安大学学报(自然科学版)》2006,12(4):104-106
随着交通事故处理体系的变化,交通事故现场勘查工作的重要性、难度、复杂程度都得到大幅度提升,这对从事现场勘查工作的交通民警提出了更高的要求。原有的交通事故现场勘查课程骞验已经不能适应今天的实战需要,文章从分析原有实验教学中存在的问题入手,提出建立新的实验体系的观点以及新的实验体系应包含的内容。 相似文献