不同杂散光模型对光刻掩膜特征尺寸影响研究

杂散光仿真模型在光刻投影系统应用中具有重要的作用。由于杂散光对光刻掩模特征尺寸CD(Critical Dimension)成像有一定的影响,亟需一种恰当的杂散光成像模型。通过采用PSF_F函数杂散光拟合模型和Kirk杂散光模拟模型,提出了一种改进的考虑杂散光成像的光刻模型。利用改进的杂散光模型研究了在相同杂散光总量下,不同比例中程、远程杂散光对特征尺寸的影响。结果显示,当总杂散光量相同时,仿真分析得出远程杂散光的影响大于中程杂散光,即远程杂散光的比例占的越大,显影后的特征尺寸比实际特征尺寸越小。     

新型研发机构的发展困境与政策支持路径研究

新型研发机构是推动我国科技创新的重要主体之一,与传统科研单位相比,它具有组织目标市场化、组织治理企业化以及组织运行协同化等明显特征。以市场化、社会化为理念价值的多元主体间合作和竞争激发了体制机制运行的活力,但新型研发机构发展依然面临着难以实现"身份"认定与分类管理、旧有体制束缚与创新活力不足、扶持力度的不足与支持方式的错位、发展不均衡与资源过度集中化等问题。借鉴国外新型研发机构发展规律和经验,我国应从强化科技管理体制改革、赋予新型研发机构独立运行的地位、完善新型研发机构激励政策体系、引导科研人员向新型研发机构流动以及重点支持与均衡发展等方面支持新型研发机构发展。     

潮水盆地早中侏罗世含煤地层沉积特征及探煤前景

潮水盆地可划分为7个一级构造单元和19个二级构造单元,中统青土井群为主要含煤地层。盆地的中生代地层可划分为以侏罗系裂陷背景为主的构造层序Ⅰ和以白垩系坳陷背景为主的构造层序Ⅱ,本次研究工作的重点以构造层序Ⅰ中的裂陷一幕中的次级构造作用幕。芨芨沟群上岩组和青土井群下岩组均具有成煤的构造、成煤的环境和成煤的物质来源;盆地内次级构造平山湖凹陷,窖南凹陷南缘的逆掩断层下盘,青土井地段,马家井凹陷黄毛井以西,西渠凹陷的井泉东和黄毛井以东具有找煤前景和潜力。     

具有平行平均曲率向量的伪脐子流形

研究局部对称空间中具有平行平均曲率向量的n+p维伪脐子流形,得到这类子流形关于第2基本形式模长的平方σ和Ricci曲率的一个拼挤定理。     

三维MHD方程在BMO空间中的正则性准则

利用能量估计的方法以及Bernstein、Young等不等式,在BMO空间中得到三维方程用水平速度场和水平磁场刻画的三维MHD方程弱解的正则性准则。     

基于因果岭回归的多数据源科研主题识别方法

为了有效解决多数据源科研主题的识别问题,基于因果岭回归建立了一种新的多数据源科研主题识别方法.该方法首先给出了多数据源科研主题识别关键参数(如主题词的引用权重、状态密度)的评价指标;同时根据科研主题形态特征建立了特征函数,并基于因果岭回归给出了具体识别方法;最后,通过仿真实验深入研究了影响该识别方法的关键因素.结果显示,与朴素贝叶斯、KNN算法和MGe-LDA算法相比较,该方法在价值引用量、引用权重和前沿主题相似度等方面具有较大优势.     

一类带有两个Niho型指数的循环码的重量分布

研究了一类基于两个Niho型指数构造的循环码,以指数和为工具,确定了这类循环码的非零权重为5,进一步运用求指数和的方幂和的方法确定了其重量分布.与已有的研究结果相比,由于采用了一种新的方法来计算方幂和,从而为计算这类循环码的重量分布提供了一种更有效的途径.     

四川公路堆积层边坡特征与加固方案统计关系初探

根据四川区域环境特征,在对收集到的68处省内公路堆积层边坡处治实例汇总的基础上,将影响公路堆积层边坡稳定的特征因素归结为堆积层厚度、边坡高度、坡率、岩性及其组合、地下水条件、平均年降水量及地震作用七项指标,进而分别以各项特征因素为参变量,研究其与挡墙、抗滑桩和锚杆三类典型加固方案之间的统计关系,所得结论可为山区公路堆积层边坡病害治理提供类比设计的技术资料及相关参考.     

新疆区域经济的空间差异分析

主要研究新疆区域经济差异,通过选取2006年至2015年新疆14个市区的人均GDP来分析描述各区域经济的差异。主要采用Matlab软件和Geo DA来定量测度方法以及GIS技术与空间统计分析的综合集成方法,通过Moran指数和局部G统计量对新疆14个市区GDP的格局及其空间动态演变进行分析;最终通过对结果进行分析,南北疆区域经济具有差异性。     

基于正交局部慢性特征的故障检测方法

为提高化工行业中数据驱动故障检测的效果,该文针对实际工业系统中闭环控制导致的过程动态特性和数据流形中蕴含的局部信息,提出了一种基于局部时空正则慢特征提取(local time-space regularized slow feature extraction, LTSS)的方法进行故障检测。首先,构造基于局部时空正则的目标函数得到投影矩阵,进而得到预提取特征S,则S张成的空间中包含了静态信息,而S的一阶差分张成的空间中包含了动态信息。其次,基于独立成分分析(independent components analysis, ICA)方法,分别为2个空间构建对应的S~2和SPE统计量进行监控,用于实时故障检测。在TE (Tennessee Eastman)过程上的案例研究可以证明所提方法的有效性。