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952.
953.
954.
多层冷压印光刻中超高精度对正的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为满足多层冷压印光刻中套刻的超高精度要求,提出了基于斜纹结构光栅的对正技术.利用光电接收器件阵列组合接收光栅产生莫尔条纹的零级光,得到条纹平面内X、Y方向的对正误差信号.通过调整光栅副的间隙来提高误差信号的对比度.利用高对比度和灵敏度的误差信号作为控制系统的驱动信号,对承片台进行宏微两级驱动控制,并由激光干涉仪作为控制系统的反馈环节在驱动过程中进行全程监测,实现自动对正.最终使在X、Y方向上的重复对正精度达到了±20nm,满足了100nm特征尺寸压印光刻的对正精度要求. 相似文献
955.
全光网是宽带网的基础,是未来通讯业发展的方向,但是全光网中的光放大器一直是传输中需要解决的一个关键问题。在分析了光纤拉曼(Raman)放大器工作特点的基础上,对光纤拉曼放大器(FRA)在扩展光纤带宽方面进行了分析研究,并对几种应用方法的试验情况做了介绍。 相似文献
956.
光纤传感技术应用于混凝土面板堆石坝裂缝的监测尚属首例,它的埋设工艺是国内外公认的课题,课题组通过重庆鱼跳电站工程的实践,获得了一些宝贵的经验。 相似文献
957.
本文研究了丝状液晶在光感应下产生衍射光束的弛豫时间,找出了与分子重新取向的响应时间相联系的对应关系,对影响弛豫时间的三种重要因素作了理论分析。对MBBA的弛豫时间测量结果与理论计算结果一致。 相似文献
958.
拉锥光纤与超连续谱的产生 总被引:1,自引:0,他引:1
目的研究超连续谱的形成与拉锥光纤及超短脉冲参数之间的关系。方法实验结果与理论分析相结合。结果在不同群速度色散和非线性光学效应的共同作用下,实验和理论上较为一致地得到不同程度展宽的超连续谱脉冲。结论拉锥光纤及超短脉冲参数对超连续谱宽度产生极大的影响。 相似文献
959.
OTDR是光纤光缆测试的重要仪表,从事光缆施工和维护的人员正确使用和保养OTDR至关重要。介绍了OTDR的测试原理、特点、使用范围;着重介绍了OTDR可测试的参数及测试方法;特别介绍了其在光纤线路施工、维护中的应用和线路故障点的定位及保养常识。 相似文献
960.
提出了以高扭转率旋转应力型双折射光纤来实现手征光纤光栅,并进而实现易于在线制成的全光纤圆起偏器.采用耦合模理论分析表明,以小于1mm的扭转周期旋转领结光纤或熊猫光纤可以实现圆起偏器.与已有的基于特殊光纤的手征光纤光栅不同,旋转光纤基于商用应力高双折射光纤,容易与普通光纤连接.耦合模分析还揭示了这类由旋转光纤形成的手征光纤光栅中圆偏振模相耦合的偏振选择机理和实现起偏器的必要条件.数值分析表明,对数值孔径为0.1865、拍长为1.25mm的熊猫光纤以右手螺旋方向进行旋转,当旋转周期和光纤长度分别为0.375mm和33.2mm时,该起偏器在谐振波长1550nm处输出左旋圆偏振光. 相似文献