集成电路光刻模拟的数据后处理研究

在集成电路光刻过程中,利用光刻模拟软件将光刻模拟结果与设计模板进行比较可以预先发现模板设计中的缺陷.由于光刻模拟软件与模板设计软件数据格式的不同影响了这一步工作的顺利完成.本文通过对两种软件数据格式的研究,利用Perl语言实现了两种软件之间数据格式的转换,具有一定的实用价值.     

内燃机缸套空蚀的原因分析

为延缓与预防内燃机缸套空蚀，对引起内燃机缸套空蚀的原因进行了分析，指出了导致内燃机缸套空蚀的几个主要因素，这对延缓与预防缸套空蚀具有指导意义。     

钝化304不锈钢单晶在硫酸含氯介质中的孔蚀

采用交流阻抗技术,研究钝化304不锈钢单晶体在pH1.0,0.25mol/lNa_2SO_4含氯介质中的孔蚀行为。对孔蚀过程中的阻抗频谱特征进行了分析,提出孔蚀的发生和发展过程中都有复合物(MOHC1)形成。复合物进一步吸附更多的氯离子,导致溶解反应发生。并提出一个孔蚀的的反应机理模型,它与304不锈钢多晶体在硫酸含氯介质中的孔蚀机理没有本质的差别。     

安徽沙溪式斑岩铜(金)矿床地质地球化学特征及成因分析

沙溪斑岩铜(金)矿床位于庐枞火山岩盆地西北外围,处于郯庐断裂带内部.矿体主要产于燕山期的石英闪长斑岩,次为黑云母石英闪长斑岩中.主要成矿期为岩浆期后热液期.蚀变分带自内向外:钠-更长石化带—硬石膏-黑云母-钾硅酸盐化带—钾硅酸盐青磐岩化叠加带—石英绢云母化带—青磐岩化带,主要工业矿体位于钾硅酸盐化带及其外侧.文章总结沙溪式斑岩铜(金)矿床地质地球化学特征,并对该类型铜(金)矿床的成因进行了探讨.     

使用测试图形法优化亚分辨率辅助图形

在亚波长光刻领域,基于规则插入亚分辨率辅助图形是一种重要的技术。现有的方法需要利用经验改善亚分辨率辅助图形,且不考虑光学邻近校正的效果。提出了一种新的利用测试图形优化亚分辨率辅助图形的方法。与一般的光学邻近校正流程结合,该方法能解决工艺窗口过小和亚分辨率辅助图形刻出等问题。通过对标准电路版图的测试,对边放置误差和工艺窗口进行了测量。边放置误差相比传统方法减小了10%,同时,不同工艺窗条件下的边放置误差也有改善。     

内蒙古巴林左旗大西沟铜矿地质特征及找矿方向的研究

本区位于国家重点找矿区带大兴安岭成矿带南段东坡。大地构造位于内蒙古中部地槽褶皱系（Ⅰ级）、苏尼特右旗晚华力西褶皱带（Ⅱ级）、哲斯-林西复向斜（Ⅲ级）。区域出露地层有二叠系下中统、侏罗系中上统,第四系。其中二叠系地层为区域主要赋矿围岩。据遥感解译资料,环形构造明显受东西向、北东向断裂控制,呈北东向、东西向串珠状分布,矿床点多分布于环形构造边缘,是该区找矿方向的重点。     

基于TM数据的某矿区遥感矿化蚀变信息提取研究

矿化蚀变信息是重要的找矿标志,利用遥感技术提取蚀变异常信息在找矿评价预测工作中,是一种快速高效的方法。地表植被和第四系覆盖的干扰,增加了遥感蚀变信息提取的难度。本文以安徽某地区为研究区域,选用TM影像作为数据源,对植被、水体、阴影等干扰因素进行掩膜去除,采用主成分分析技术,标准差倍数法密度分割处理,并与地层信息叠加以消除假异常的方法,成功提取了该区矿化蚀变信息。     

青海省黑刺沟地区构造蚀变岩型金矿遥感地质特征及外围找矿预测

本文利用WorldView-2和ASTER遥感数据,在东昆仑成矿带中段黑刺沟矿区及其外围开展遥感找矿预测研究。在综合分析黑刺沟金矿成控矿要素的基础上,运用制作好的高分辨率遥感影像,进行地质构造和岩性地层信息提取,结合Au、Sb化探异常,明确了研究区内矿化严格受到北西向断裂的控制。通过综合分析研究,在矿区东南延伸地段圈定了1处遥感找矿预测区,通过野外验证,发现了一条矿化蚀变带,矿化蚀变发育,规模较大,具有较大的找矿意义。     

辽东岫岩老虎山地区铀矿化特征及成矿作用

岫岩老虎山地区处于华北克拉通东北侧的辽东铀成矿带内。通过岩相学和矿物地球化学对研究区的铀矿化(异常)点进行了研究。结果表明,矿化(异常)点的分布主要受不整合面,以及后期脉岩和构造破碎带控制。围岩蚀变具有范围较小,强度大的特征,赤铁矿化、黄铁矿化、绢云母化和硅化与铀成矿的关系最为密切。铀矿物主要为沥青铀矿、铀石、铌钛铀矿和钍石,主要呈脉状或星点状,与金红石、锆石、赤铁矿等矿物共生。矿化特征和成矿作用分析表明,该区域经历了多期次的岩浆活动,为成矿物质的多次活化提供了动力和热液,不整合面、断裂和构造破碎带等薄弱的位置,是热液流动的优良通道,为成矿热液的沉淀富集提供了空间。